可靠
同类产品中最佳的混合轴承技术，使用寿命长，正常运行时间长
易于维护
现场更换轴承，不受工艺粉尘影响
性能卓越
专为镀膜工艺而设计，优化转子 / 定子概念
技术规格
市场和应用
半导体应用
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PVD
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检验与计量
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金属和高 K 蚀刻
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LPCVD / 扩散
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光刻技术
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氧化物蚀刻
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剥离 / 灰化
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ALD
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PECVD
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Si Poly etch
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Load lock 和 传输
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轻沉积
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离子注入