- Wartungsfrei dank Magnetlagerung
- Minimaler Verschleiß
- Geringere Betriebskosten
- Ölfreier Betrieb
- Leise und vibrationsarm
- Kompakte Bauweise
ATH-M/ATP-M
Turbomolekular-Vakuumpumpen
Die Turbomolekular-Vakuumpumpen ATH-M und ATP-M erzeugen Hoch-, Ultrahoch- und sogar extrem hohes Vakuum von bis zu 10⁻¹¹ hPa (mbar) mithilfe einer 5-achsigen Magnetlagerung.
Das Funktionsprinzip dieser Vakuumpumpen, die für anspruchsvolle Anwendungen in Halbleiterproduktion, Industrie und F&E entwickelt worden sind, basiert auf Hochgeschwindigkeitsrotoren, die ein hohes Saugvermögen bei minimalen Vibrationen gewährleisten.
ATH-M/ATP-M
Wartungsfreie magnetisch gelagerte Turbopumpen
Vorteile der ATH-M/ATP-M Baureihe
Die Magnetlagertechnik der ATH-M und ATP-M Baureihen nutzt Elektromagnetismus und ein ausgeklügeltes elektronisches Steuerungssystem, um den Rotor in der Schwebe zu halten und seine Drehung ohne physischen Kontakt mit dem Pumpengehäuse zu ermöglichen. Dies eliminiert Reibung, verhindert Verschleiß und macht diese Turbopumpen wartungsfrei.
Die minimierte mechanische Reibung führt auch zu einem niedrigen Schalldruckpegel und Vibrationsniveau. Dadurch sind die ATH-M und ATP-M Turbopumpen ideal für vibrationsempfindliche Anwendungen in Halbleiterproduktionsprozessen geeignet.
Zudem wird die Magnetlagerung bei einem Stromausfall mit Elektrizität aus der von der Vakuumpumpe erzeugten Rotationsenergie versorgt. So können minutenlange Stromausfälle problemlos überbrückt werden.
Die Rotoren unserer Turbomolekular-Vakuumpumpen werden von frequenzgeregelten DC-Motoren angetrieben. Sie können die Drehzahl der Rotoren an das gewünschte Vakuumniveau anpassen und tragen so dazu bei, Energie und Kosten zu sparen. Bei der neuesten Generation der ATH-M und ATP-M Vakuumpumpen ist der Antrieb in die Vakuumpumpe integriert, was zusätzlich Platz spart.
Einige ATH-M Turbopumpen sind mit einem internen Heizsystem ausgestattet, das dazu beiträgt, die Leistung der Vakuumpumpe unter anspruchsvollen chemischen Bedingungen aufrechtzuerhalten. Dieses Merkmal ist besonders vorteilhaft bei Anwendungen wie der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD), bei der chemische Reaktionen Nebenprodukte erzeugen können, die dazu neigen, im Vakuumsystem zu kondensieren. Die integrierte Heizung hält die Vakuumpumpe auf einer konstant hohen Temperatur, wodurch das Risiko von Kondensation und Rückständen reduziert wird.
