유연성
개별 공정 요구 사항에 맞게 맞춤 설정 조정 가능
내구성
고급 온도 관리, 내부식성 소재, 조기 마모 및 응축 방지
효율성
건식이고 에너지 효율적
기술 사양
시장 & 어플리케이션
평면 패널 디스플레이 생산용
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물리적 증착(PVD)
반도체 응용 분야
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PVD
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금속 및 높은 K 에칭
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LPCVD / 확산
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미세가공기술
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산화물 에칭
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스트리핑 / 애싱
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ALD
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PECVD
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코발트, WCVD, TiN 및 TDMAT
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풀림
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Si Poly 에칭
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로드 잠금 및 이동
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라이트 메탈 증착
태양열 발전 산업용
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셀 제조
박막 코팅
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실험실 코팅