灵活
可调节设置，满足个性化工艺要求
坚固耐用
先进的温度管理、耐腐蚀性材料、防止过早磨损和冷凝
高效
干式和高能效
技术规格
市场和应用
平板显示器生产
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物理气相沉积（PVD）
半导体应用
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PVD
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金属和高 K 蚀刻
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LPCVD / 扩散
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光刻技术
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氧化物蚀刻
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剥离 / 灰化
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ALD
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PECVD
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钴、WCVD、TiN 和 TDMAT
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退火
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Si Poly etch
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Load lock 和 传输
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轻沉积
太阳能发电行业
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电池制造
薄膜镀层
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实验室涂层