신뢰성
동급 최고의 하이브리드 베어링 기술, 우수한 베어링 윤활로 긴 수명 주기 보장
고성능
최적화된 로터 형상, 향상된 가스 부하 취급
높은 가스 처리량
높은 흡입 용량, 다양한 보조 펌프와 호환 가능, 경량 가스에 대한 높은 압축력
기술 사양
시장 & 어플리케이션
연구 및 R&D
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질량 분석
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우주 연구조사
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초고진공
전력 생산용
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친환경 에너지 생산
병원 및 의료 시설
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질량 분석계
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의료용 가속기
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진단 이미징
과학 기기
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질량 분석
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표면 분석
반도체 응용 분야
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PVD
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검사 및 계측학
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금속 및 높은 K 에칭
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LPCVD / 확산
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미세가공기술
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산화물 에칭
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스트리핑 / 애싱
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ALD
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PECVD
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Si Poly 에칭
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로드 잠금 및 이동
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라이트 메탈 증착
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이온 이식
기술적 가스
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병입
액세서리
- 전기 어댑터
- 전원 케이블
- 연결 케이블
- 다양한 필드버스 시스템
- 전원 공급 장치 키트 및 디스플레이 장치
- 장착 키트
- 안전밸브
- 배기 액세서리
- 출력 장애 배기 장치
- 진동 댐퍼