性能卓越
干式且高能效，专为半导体和涂层应用而设计
灵活
可调节设置，满足个性化工艺要求
认证品质
通过 SEMI S2 和 UL 61010 认证
技术规格
市场和应用
平板显示器生产
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物理气相沉积（PVD）
半导体应用
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PVD
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检验与计量
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金属和高 K 蚀刻
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LPCVD / 扩散
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氧化物蚀刻
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剥离 / 灰化
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ALD
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PECVD
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退火
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Si Poly etch
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Load lock 和 传输
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轻沉积
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离子注入
薄膜镀层
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实验室涂层