Pfeiffer Vacuum

残余气体分析

四极杆质谱仪是用于在真空系统中评估残余气体成分的经典测量仪。

质谱仪为气体成分质量 - 电荷比供应的离子电流提供有关真空系统在多个操作阶段有用的信息,无论是用于确定安装后的气密性和无污染性还是在操作真空处理时用于其特性。

根据真空室和抽气系统的设计,在真空系统中获得的压力范围决定了质谱仪对检测器的选择。在高真空中,通常一个法拉第检测器就足够了,而在高真空中检测非常低的气体密度时,一个二级电子倍增器是必要的。另一个重要标准则是待检测的质量范围。

在传统的真空系统中,大气中的气体,例如氮气、氧气、氩气、水蒸汽等,通常受到轻烃污染是重点。为了检测这些气体,范围在 1 至 100 原子质量单位 (amu) 之间的四极杆质谱仪是理想的,因为在该范围内显示了良好的质量分离。若较重的气体及其组成成分也须检测出来,如长链烃,普发真空也为此提供了范围在 1〜200 amu 或 1〜300 amu 之间的质量过滤器。

开放的离子源在大多数残余气体分析任务中是最佳选择,因为它们将稳健的设计与较高的检测灵敏度相结合。凭借封闭或交叉束离子源,可有利地掌握必须分析气体喷流或气体流的任务。对于超高真空范围,也可提供具有极低释气率的栅网离子源。
由于有大量的部件可供选择,且得益于普发真空四极杆质谱仪的精确配置,质谱仪可作为所有测量任务的最佳选择。我们的产品和应用专家拥有多年的经验,将十分乐意为您提供有关残余气体分析仪配置方面的一些建议。

应用

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