Pfeiffer Vacuum

多级罗茨泵

适合洁净干燥制成的真空解决方案

普发真空的多级罗茨泵广泛应用于各种领域,提供洁净干燥的真空环境
例如,在例子加速器中,小型 ACP罗茨泵能制造涡轮分子泵所需的前级真空。具有抽速高、最终压力低等特点的大型 ACP 120可用于冷冻干燥行业。A 100、A3P 或 A4 系列干泵则在半导体和真空镀膜行业中被大量地用作工艺用泵。所有这些领域都有一个共同特点:它们均需要洁净和干燥的真空环境。针对该要求,多级罗茨泵技术提供了完美的解决方案。无摩擦的真空泵运转模式,使转子和定子之间无需使用润滑油和密封材料。从而避免碳氢气体的回流。在泵的吸入腔,不会发生密封件磨损现象。这意味着泵内无任何颗粒物,具有长期可靠而稳定的优异性能,这将极大降低产品的运营成本。

多级罗茨泵在清洁工艺中的使用范围
ACP系列中的气冷多级罗茨泵保养间隔时间长,其稳定可靠的性能使其脱颖而出。它们可用于分析应用行业、半导体生产和等离子清洗的洁净工艺中。A 100 L紧凑型罗茨泵因其较小的尺寸而可以轻松地集成到系统中。半导体和光伏生产系统的 Load locks 与传送舱是该类泵的典型应用领域。带有水冷装置的罗茨多级泵 ACP 120系列真空泵是由结实的压铸金属制成。正如罗茨真空泵组 ACG 600,它们经常被用于抽速要求较高的研发、真空镀膜和冶金行业。

腐蚀性的工艺不是问题
A3P系列多级罗茨泵是专为半导体和光伏生产的中型工艺应用而开发的,在此类应用中,必须传输少量的腐蚀性气体或冷凝物。该泵具有紧凑、高能效的特点。低噪音和低震动是该系列产品的突出优点。抽速可高达 1,800 m3/h 的 A4系列真空泵,是由抗腐蚀材料制成的。良好的媒介耐受性及高气流量,使这些多级罗茨泵成为半导体行业 CVD 工艺应用的最佳解决方案。

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