Pfeiffer Vacuum

气冷型

紧凑型多级罗茨干泵。提供洁净真空。性能可靠。
ACP 系列多级罗茨泵技术满足洁净干燥真空工艺的要求。

优势

  • 最佳解决方案-涡旋泵和油泵的理想替代品
  • 气冷模式 - 省去了水冷模式下的安装和运行费用
  • 变频器 - 计时表,远程操作模式(RS-485、干触点、Profibus可选),多转速选择(节能,噪音低)
  • 多接口选择 - 吹扫气体,气镇,其它符合要求的特定接口
  • 通用电源 - 宽电压供应 50/60 Hz 单相和三相
  • 标准认证 - 符合 CE 标准,通过 UL/CSA 认证,SEMI S2 认证

应用

  • 电子显微镜
  • 表面分析仪
  • 检漏仪
  • 质谱仪
  • 光谱仪
  • 粒子加速器
  • 涡轮分子泵组
  • 实验室
  • 灯具制造
  • 真空镀膜
  • 低温泵再生
  • 等离子清洗
  • 干燥
  • Load-lock

各型号一览

  • SD型号:用于无尘、无腐蚀性气体工艺

SD 型号专为洁净(无尘)和无腐蚀性气体的工艺而设计。标准泵配有气镇设备,以增强抽吸洁净气体的能力,并避免泵体内部的蒸汽冷凝。我们提供三种气镇设备供您选择,满足不同要求。

  • G型号:适用于少量腐蚀性气体工艺

G 型号真空泵可用于输送少量的腐蚀性气体。惰性气体吹扫功能具有保护低压和高压轴承的作用,并能稀释吸入腔中的腐蚀性介质。

CV 型号是专为避免泵体内蒸汽凝结而设计的。它通过以下方法达到目的:通过较高的气镇流量来加热泵体并稀释可凝结气体。同时在排气管的最低点安置带有排流螺塞的消音器。通过注入吹扫气体,达到保护球轴承和轴封的目的。CV 系列真空泵具有高达 1,000 克/小时的水蒸气容量。

无颗粒物污染
利用无摩擦抽气模式的优点,真空泵能在无润滑油的状态下运行,提供性能优越的无油真空环境,并无碳氢气体的回流。转子和定子之间无任何密封件,因此不会产生颗粒排放物。

可靠性高
抽气过程中,无需用到任何易损件,因此确保真空泵具有卓越的稳定性和极高的可靠性,即使在最苛刻的应用中仍然表现出色。

性能恒定
通过变频器驱动的发动机提供恒定的转速,从而在世界各地均实现了稳定的抽速和一致的极限压力。

维护成本低
基于真空泵的低运营成本,我们的 ACP 28/40 只需每运行 22,000 小时进行一次维护,ACP 15 每运行 20,000 小时维护一次。

可凝性气体抽送能力强
高流量气镇口和可排水消声器使 ACP 能抽送大量的可凝性蒸汽(纯水蒸气高达 1,000 克/小时)。

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