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CSGB01G0MM9B

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ASM 390，通用电压，出口 DN 25 ISO-KF
订单号: CSGB01G0MM9B

具有高前级泵能力（35 m³/h）的干式清洁泵
测试时间短：在小型和大型样品上均具有出色的性能
紧凑的设计，极易操控
大型彩色触摸屏，无需任何工具即可完全旋转和拆卸
用于存放附件的集成工具箱
可连接的 DN 25 排气管，用于连接到通用的 Fab 排气管

I/O 接口	RS-232
前级泵	带有无油前级泵
前级泵能力	35 m³/h \| 20.6 cfm \| 583.33 l/min
功耗	800 W
可检测气体	⁴He, ³He, H₂
启动时间 (20°C)	2 分
声功率	≤ 55 分贝 (A)
声压水平	≤55 分贝 (A)
尺寸（长 x 宽 x 高）	1072 x 455 x 1025 毫米
工作温度	10 – 35 摄氏度
排气管路的连接	DN 25 ISO-KF

接口：连接，设备侧	标准型 15 针 I/O
最大耗电量	1600 瓦
氦气的抽气速率	10 l/s
氦气的最小可检测泄漏率（嗅探泄漏检测）	1 · 10^-9 Pa m³/s \| 7.5 · 10^-9 Torr l/s \| 1 · 10^-8 mbar l/s
氦气的最小可检测泄漏率（真空泄漏检测）	1 · 10^-13 Pa m³/s
测试方法	真空及嗅探泄漏查找
用户界面	图形化彩色触摸屏（可取下）
电源	100 – 240 V, 50/60 Hz
类型	高性能 - 机动灵活
连接法兰（入口）	DN 40 ISO-KF
重量	125 千克

尺寸-TIM-RS

文件名	类型	语言	日期	文件大小
数据表	PDF	ZH	2023-02-04	~ 342.3 KB

文件名	类型	语言	日期	文件大小
ASM 390/392 - Maintenance instructions (126348MZH_03)	PDF	ZH	2023-01-10	~ 4.7 MB
操作手册 ASM 390/392 - Operating (126348OZH_04)	PDF	ZH	2023-01-10	~ 6.4 MB
操作说明 ASM 390/392 - Short guide (126838CZH_02)	PDF	ZH	2022-02-08	~ 2 MB

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