Mass Extraction (质量提取) — 无示踪气体真空下的泄漏测试程序

Mass Extraction(质量提取)方法在真空下进行。由于真空的绝缘作用,可以改善检测限和热解耦。这种类型的测试特别适用于包装或密封的物体,例如封装的电子组件。在测试期间,将被测单元放置在真空室中并将该真空室抽空。被测单元的泄漏率通过从被测单元流向真空容器的流量确定。凭借该方法,可以实现高达 7 · 10-7 mbar · l/s 的检测限。

在该测量原理的替代过程中,被测单元的内部被抽空并测量渗透的环境空气。该方法降低了测试设备的成本,因为它不需要真空室。

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