Micro-Flow（微流量) — 领先的空气泄漏测试技术

Micro-Flow（微流量）技术测量通过泄漏的体积流量。如果气体从待测部件泄漏，则设备通过补充气流保持动态压力平衡。气流通过传感器并得以测量。传感器几何结构可放大信号，并可测量极低泄漏率，最高可达 5 · 10^-4 mbar · l/s。因此，即使环境发生变化，缓冲容积的使用和环境温度与压力的补偿也可实现高稳健性。