超高真空中的残余气体分析 - 普发真空

超高真空中的残余气体分析

PrismaPro® QMG 250 M1, 1–100 u

模块化结构的紧凑型质谱仪可适合您的使用。有以下离子源可供选择:具有极高灵敏度和线性的开放式离子源,适用于残余气体分析和 HV 与极高真空范围内分析性任务。适用于与进气系统接合的气密离子源。适用于直接进气的交叉臂离子源。格栅离子源特别针对极高真空内残余气体分析,具有极低脱气率和解吸率。

PrismaPro® QMG 250 M2, 1–200 u

模块化结构的紧凑型质谱仪可适合您的使用。有以下离子源可供选择:具有极高灵敏度和线性的开放式离子源,适用于残余气体分析和 HV 与极高真空范围内分析性任务。适用于与进气系统接合的气密离子源。适用于直接进气的交叉臂离子源。格栅离子源特别针对极高真空内残余气体分析,具有极低脱气率和解吸率。

PrismaPro® QMG 250 M3, 1–300 u

模块化结构的紧凑型质谱仪可适合您的使用。有以下离子源可供选择:具有极高灵敏度和线性的开放式离子源,适用于残余气体分析和 HV 与极高真空范围内分析性任务。适用于与进气系统接合的气密离子源。适用于直接进气的交叉臂离子源。格栅离子源特别针对极高真空内残余气体分析,具有极低脱气率和解吸率。

带有二级电子倍增器的四极杆质谱仪,为超高真空室内的气体成分定性分析提供最大的检测灵敏度。

对于高真空下的残余气体分析,必须只检测到极少量的气体。普发真空残余气体分析仪里的二级电子倍增器因此保证了四极质量过滤器提供的小型离子电流较高的放大率。所有使用的材料都经过精心挑选,用于超高真空并能承受较高的烘烤温度。

 
一些离子源可用于不同的应用,包括具有极低释气速率的栅网离子源。

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