气体分析

从高真空到大气压力,四极杆质谱仪是用来分析气体的优秀工具。

通过测量气体成分的质量-电荷比,获得已经过测试的气体特征谱。在广泛的真空应用中,残余气体分析可提供关于真空系统条件方面的有用信息。气体浓度和气体混合物中各成分的分压也可以通过校准与测试气体来确定。

 
在高真空条件下,四极杆质谱仪需要的工作压力不到 1•10-4 hPa。在较高的压力下来分析气体,这在许多的真空工艺中都会遇到,因此一个完美协调的系统是必需的,它由质谱仪、带有无分离减压阀的进气口、真空抽气站以及总压测量组成。凭借以四极杆质谱仪为基础的系列产品,从超高真空到大气压力,普发真空为气体分析提供完美的解决方案。

 
由于采用模块化设计、高品质的可靠部件,这些仪器理论上可应对几乎所有的测量任务。我们的产品和应用专家拥有丰富的经验,将会十分乐意帮助您,为您的特定应用选择一套合适的气体分析系统。

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