SPM 220, 1–200 u

在 1-200 u 范围内的喷镀工艺气体分析

产品描述

  • 最小化的对测量结果的基础性影响
  • 适用于灵活性集成的紧凑尺寸
  • 适用于最高 10 hpa 的差分泵式机型
  • 通过各种数字式和模拟式输入端与输出端实现轻便且灵活性的系统集成
  • 多工操作实现通过一台计算机进行多个质谱仪的数据评价
  • 用于进行流程瞬时精确监控的至 10-2 hPa 的 SPM 离子源
  • 适用于 H2、O2、H2O 和 CO2 杰出探测界限

产品

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