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PT M51 140
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HPA 220,用于压力最高 1 hPa 的操作压力,双闸阀,电动气动驱动
订单号: PT M51 140

  • HPA 220,高压分析仪,测量范围 1 – 100 u、115 – 230 V、50/60 Hz,适用于压力范围 0.5 hPa > p > 1 · 10-7 hPa 内的工艺及残余气体分析,组成:
  • 带四极电子装置 QME 220 的 PrismaPlus,带开放式离子源和两根铱长丝、氧化钇涂层的四极分析仪 QMA 200 M
  • 双闸阀,电气动操作,连接法兰 DN 40 CF-F,带 0.1 mm 交换式隔板的滑阀
  • 阀控单元 VCU 220 和适用于 Quadera®的 HPA 阀门加载项
  • 带电源件 TPS 311 和用于外部访问的远程接口的系统控制系统 BRU 220
  • 带 HiPace 80 和前级真空泵 MVP 020-3 DC 的涡轮分子泵设备
  • 总压测量管 PKR 251
  • 电缆组,3 米
  • 适用于 Windows 7, XP Professional (32 位)的 Quadera®软件,用于参数化 PrismaPlus 系统,以及记录、保存并说明测量数据
623-Valve interface with orifices Ø 0.1 mm und 0.3 mm 双闸阀,电动操作
SPM系统控制 BRU 220
供应 115-230 V
分析仪 QMA 220
前级泵 MVP 020-3
压缩空气 5-7 bar
四极控制 QME 220 M
对 Ar 的灵敏度:C-SEM 200 A/hPa
对 Ar 的灵敏度:法拉第 5 · 10-4 A/hPa
探测器 C-SEM/Faraday
最大入口压力 1 hPa
杆系统:材料 不锈钢
杆系统:直径 6 毫米
杆系统:长度 100 毫米
检测极限:C-SEM (hPa) 1 · 10-14 百帕
检测极限:Faraday (hPa) 5 · 10-12 百帕
涡轮泵 带有 TC 110 RS 的 HiPace 80
电缆长度 3 米
系统控制 BRU 220
质量范围 1 – 100 u
软件 Quadera®
过程压力至 1 百帕
连接法兰(入口) DN 40 CF-F
重量:分析仪 包括涡轮 15 千克
阀控制单元 VCU 220

尺寸-TIM-RS

A
350 毫米
B
290 毫米
C
380 毫米
D
446 毫米
文件名 类型 语言 日期 文件大小
数据表 PDF ZH 2020-04-04 ~ 670.4 KB
Stepfile STP ZH 2017-01-05 ~ 25.1 MB
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