Pfeiffer Vacuum

涡轮分子泵

涡轮分子泵——真空泵中的领导者

真空技术的应用,使大量高科技产品走入人们的日常生活。事实上,在研发和工业领域的大量应用都需要极低的绝对压力,即高真空环境。得名于涡轮机系列产品,涡轮分子泵代表着全球领先的技术标准。转速高达 90,000 rpm 的高速转子能产生应用所需的压力条件,从而产生在高真空和超高真空范围内的高达 10-11 mbar 的真空度。

完美的真空解决方案 满足最高要求
普发真空拥有抽速介于10到2,700 升/秒的完整涡轮分子泵产品系列。产品具有很高的性价比和灵活的安装方式。经过实践验证的轴承系统提供了更优化的可靠性。通常有两种类型的轴承可供选择——一种是由前级真空端的陶瓷球轴承与高真空端的永磁径向轴承组合而成的复合轴承系统,另一种是完全主动式的磁悬浮轴承系统,其转子悬浮空中,无任何接触或磨损。得益于精密的转子设计,使产品具有更出色的抽速,更好的前级泵兼容性和更大的气流量,对于小分子气体具有更高的压缩比。

完美的真空解决方案 满足最高要求

普发真空涡轮分子泵代表着安全的性能
现代涡轮分子泵能获得超过 400 米/每秒的圆周速度。这将转化为相应的高转子动能,当转子和定子相触,动能将在瞬间传输到外壳和泵的底座上。因此,泵外壳的稳定性具有至关重要的作用,需经过理论和实际的双重检验。普发真空的涡轮分子泵已通过UL 61010和/或Semi S2认证。除机械安全性能外,该认证同时也包括了防火和转速过高的双重保护,这向认证是由普发真空与TÜV Rheinland共同开创的。

我们关注客户利益的核心

在整个生产工艺过程中,真空技术往往是成败的关键因素。在各类生产应用中,因批量故障或生产中断而造成的费用损失甚至可以高达上百万元。因此采用性能稳定可靠的部件显得十分重要。如今,涡轮分子泵的工作时间已经能达到 100,000 小时。这意味着产品能无间断地运行长达11年的时间。在此期间,应尽可能地避免因保养或服务导致的运行中断。普发真空涡轮分子泵具备扩展的自诊断功能,能满足该项需求。通过分析真空泵的相关技术数据,给维修保养工作带来了极大的支持。因此,任何保养都可以提前进行预测,用户可以自主安排保养计划。此外,真空泵油和轴承都可以在现场直接进行更换,更大程度上保障了正常生产运行。涡轮分子泵的集成控制器减少了对繁琐、昂贵的布线需要。一流的驱动技术将能源消耗降低到最少,同时还带有多样化的接口。真空泵具有IP54防护等级设计,符合工业环境应用要求。紧凑型结构设计能满足更小的物理空间安装需求。为将成本最小化,普发真空提供多样化的控制器,供不同型号的泵使用。甚至泵体的重量也是重点考量的因素:抽速为 250 升/每秒的涡轮分子泵重量仅为 6 kg。普发真空涡轮分子泵的应用范围广阔,不仅包括分析仪器、真空工艺和半导体技术,还包括真空镀膜、研发和其他各类工业应用领域。

应用

在很多产品制造和工艺研究领域中,真空技术发挥着决定性的作用。涡轮分子泵对于制造极纯工艺条件具有至关重要的作用。

应用范围覆盖多个领域:

  • 分析仪器(质谱分析法、显微镜等)
  • 半导体行业(电子组件、集成电路、太阳能电池等)
  • 光学/玻璃行业(隔热保护、防反射、反射、滤光镜镀膜等)
  • 真空镀膜技术*(表面保护、装饰土层、显示技术、屏幕等)
  • 真空冶金(真空焊接、真空烧结、真空合金、真空炉等)
  • 泄漏检测(真空系统、机车燃料箱、安全气囊、真空包装行业)
  • 科研设施(核粒子物理学、核聚变研究、激光应用等)
  • 灯具行业(灯具生产等)

视频

课程概述

普发真空的技术培训提供了极好的机会,能有效地帮助您提高真空设备和产品系统的可靠性。

涡轮分子泵

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