用于复杂残余气体测量的定制 RGA 系统

用于复杂残余气体测量的定制 RGA 系统

深入了解残余气体分析 (RGA) 进行纯度测试

由于分子污染会影响产品的功能,因此随着技术要求的不断提高,快速扩张的市场越来越重视最高水平的清洁度。专业质量保证的关键在于在高真空条件下使用质谱法正确测定脱气率。
多年来,我们一直为客户提供广泛的残余气体分析分析设备组合。测试要求也会随着时间而变化。借助OmniGrade ,我们正在扩展残余气体分析的产品组合,以提供更高水平的价值创造,从而增加客户的利益。

RGA 系统基于模块化原理,可满足各种测试要求

每个测试任务都是不同的。我们的专家团队使用全系列的普发真空产品,并使用它们来配置最适合您要求的系统。不仅为您的OmniGrade选择四极杆质谱仪、真空泵、腔室和其他单独组件等单独组件,而且还考虑了定制交钥匙解决方案的总运营成本和交付时间。凭借我们的专业知识,我们可以帮助您获得所需精度的测试结果,同时最大限度地减少不必要的工作。

量身定制的精度

四极杆质谱仪( PrismaPro或HiQuad )的选择和腔室数量的确定对可实现的检测限有显着影响。在标准系统中有两个室,一个放置测试样品,另一个放置光谱仪。如果需要,该结构可以补充第三个室,即闸室。这避免了测量室受到环境污染并显着减少了表面积。通过烘烤系统,可以对其进行最佳调节,从而进一步提高测量能力。

您的OmniGrade优势

  • 使用模块化系统根据您的需求定制执行
  • 检测限低
  • 全自动测量过程
  • 全球服务网络
  • 根据 GSA 07 1221 和 GSA 07 2221 进行测试

OmniGrade残余气体分析的应用和应用领域

  • 半导体生产中的EUV光刻
  • 电子显微镜
  • 超高真空 (UHV) 中的应用

您想了解有关各个组件的更多信息吗?

关于定制系统

定制系统领域,我们除了残余气体分析系统之外还可以提供更多服务。我们通过多年的经验积累了对半导体、制药、冶金和新兴市场要求的了解,可用于开发最先进的系统,帮助您在行业中脱颖而出。例如,我们开发了污染管理系统,旨在识别并最大程度地减少污染物,并优化每个阶段的生产流程。通过提高质量和缩短周期时间来提高产量。

泄漏测试任务的部分组装模块

除了自给自足的装置外,我们还提供可集成到您的系统中的模块化解决方案。其中包括我们的泄漏测试模块(简称 LTM),您可以将其集成到您的生产线中进行批量生产。对于预批量生产,它还可以作为单独的测试台进行手动鉴定。客户定制的可配置模块可以涵盖全范围的测试方法和参数,并由我们部分组装。凭借我们在机械和软件集成方面的经验,我们支持客户实施他们的解决方案。

你想知道更多吗?请随时与我们联系 ,我们期待您的需求!

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