AMPC — 环境多端口控制

AMPC는 클린룸 및 장비 프론트 엔드 모듈(EFEM) 모니터링에 적합한 솔루션입니다.

AMPC 是洁净室和设备前端模块 (EFEM) 监控的理想解决方案。

IC 晶圆厂中的空气分子污染物 (AMC) 被认为是导致良率损失的主要因素。 为了控制和了解污染的来源,普发真空现为半导体市场带来了独特的解决方案,以监控洁净室以及 EFEM(设备前端模块)。

客户受益

  • 实时化合物测量(酸、碱、有机化合物)
  • 用于管理取样管线优先级、质量检查 (QC) 和警报的创新软件
  • 将 96 条取样管线聚集到一个工具上(最多八个分析仪)
  • 高吞吐量(三分钟内即可完成分析和清洁)
  • 各取样管线之间无交叉污染

由于采用了创新的集成阀设计,AMPC 聚集了最先进的分析仪,可检测和量化晶圆厂中多达 96 个位置的酸、碱和有机化合物。

AMPC 系列包括两款工具:AMPC S 和 AMPC L,两者外部尺寸、管线数和选件不同。

此外,AMPC 扩展框架还可为额外的分析仪提供 39 个机架单位的空间。它可以用于现有 AMPC 单元的升级,也可以添加到新的 AMPC S 和 AMPC L 单元中。

数据管理和晶圆厂通信
该工具软件允许最终用户在污染水平超过定义的阈值时设置各种警报。
所有测量结果和工具参数都存储在一个数据库中,该数据库可以传输到晶圆厂的通信协议,为客户提供晶圆厂污染水平的实时状况。
客户还可以根据需要远程访问该工具以修改工具参数。

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