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污染管理解决方案 - APR

APR 4300

APR 4300 可在分子层面上净化 300 mm 的晶圆以及它们的运输箱 (FOUP),并在等待时间内保护它们。

可靠的净化处理和预防污染
APR 是一个在等待时间内净化晶圆并防止污染的系统。空气分子污染物(简称 AMC)降低了半导体生产中的产量和质量而 APR 则能有效地防止晶圆和输送箱表面吸附被污染的有机或无机分子。通过在 APR 室里进行疏散,吸附概率大幅度减少。晶圆厂可通过这种方式显著地增加产量,且各个工艺步骤之间的等待时间也会得到优化。

APR 是如何工作的?
FOUP 既可以手动传送,也可通过 2 个装载端口上的悬挂式起重运输 (OHT) 来传送。APR 是一个带有四叠真空室的系统,用于对晶圆和 FOUP 作净化去污处理,这项工作由一个可靠的机器人来担任。所有腔室都配备了真空泵站、气箱、操作面板以及带电源的控制器。且这些腔室均可以单独地进行操作。当把含有晶圆的 FOUP 装载到腔室以后,腔室中的压力减少到 0.1 mbar。然后进行去污净化处理。之后,该腔室采用洁净的氮气进行吹扫并恢复到大气压。此时,这些晶圆以及运输箱不受污染已超过一天。

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