非蒸发性吸气 (NEG) 涂层

非蒸发性吸气 (NEG) 涂层

 
溅射是一种成熟的沉积技术,用非蒸发性吸气 (NEG) 材料的薄膜涂覆真空室和部件的内表面,以使其具有自主泵送能力。该技术基于由钛 (Ti)、钒 (V)、锆 (Zr) 组成的知名的 NEG 材料,即使在较长的弯曲管中也能实现均匀的表面覆盖和强附着力。泵送效应在 180°C 左右的低活化温度下就已经开始。
 

普发真空的吸气技术
与传统溅射镀膜工艺相比,普发真空提供了一种替代生产技术。我们新的溅射技术能够涂覆十字形、T 形管和单独设计的腔室等复杂结构。与已有技术相比,薄膜在基底上的附着力更强,沉积速率更高。
 

主要应用
非蒸发性吸气材料的薄膜涂层为真空室和部件的内表面提供化学泵送能力。对于由于几何形状或工艺相关限制而不能使用独立泵的任务,这种吸气技术提供了多种优势。
 

NEG 涂层的主要应用领域包括:

  • 加速器的光束线
  • 分析仪器
  • 移动运送腔室
  • 振动敏感的实验
  • 超高真空

 

客户利益

  • 完整的定制解决方案,包括腔室生产、非蒸发性吸气涂层和质量控制
  • 活化温度低的非蒸发性吸气涂层
  • 新的溅射源可以用于多种几何形状的广泛部件
  • 涂层与基底牢固粘合

 

为了满足客户的要求,我们提供完整的生产和质量控制链,包括:

  • 真空计算和设计,包括有限元法 (FEM)
  • 高精度腔室制造
  • 先进的焊接技术,例如,激光焊接或钨极惰性气体焊接
  • 超高真空应用的清洁度
  • 表面视觉检查
  • 氦气泄漏检测
  • 残余气体分析 (RGA)
  • X 射线光电子能谱 (XPS)
  • 扫描电子显微术 (SEM)

 

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