隔离阀

普发真空提供各种不同类型的阀门。应用领域由工艺流程、工艺温度、要达到的极限真空度或气体成分等因素决定。在下面的段落中，您会了解我们的阀门类型、密封件和密封机构以及执行器类型。您还会获得购买阀门前的提示以及各项重要问题的答案。

阀门类型

第一部分将帮您根据以下要求选择阀门：

• 阀门的用途是什么？
• 安装空间状况如何？

角阀的优点是气体流只需分流一次。直通阀安装简单，不需要中间件（在直管中），因为连接法兰是彼此相对的。角阀和直通阀通常用波纹管作为外部密封。波纹管采用边缘焊接或液压成型，使阀板可以在壳体上作直线运动，而波纹管则用静态弹性体密封圈与壳体密封。另一种设计是在活塞杆上用滑动的弹性体环（直线穿通密封件）作为外部密封，这样可以在密封程度稍低的情况下使开关频率更快，气体流量更高。这些阀门可以在超过 1 bar 的高压差下工作，例如，可以用作前级真空的“开关”或打开进入主腔的旁通。隔膜阀的工作原理类似，但气体传导值更低
球阀非常坚固，即使在几巴的压差下也能打开和关闭。价格低廉的 KF 型泄漏率为 10^-6 mbar l/s，耐温性只有 80 ℃。而“机加工”的版本可用于高真空，最高温度可达 150 ℃。三通球阀可用作混合器龙头，但无法避免重叠（即在转动过程中混合气体）。

闸阀也有这种直通设计，但安装长度更短。如果空间有限，则闸阀是合适的解决方案。它还可以实现完全自由、不受限制的气体流动（有一个可目视检查的自由通道）。闸阀是为高真空或超高真空而设计的。大多数闸阀只能在 30 mbar 左右的低压差下打开，用于气闸或泵的上游。

蝶阀和隔膜阀在直通阀和闸阀之间提供了一个（功能上）的折衷方案，成本大大降低。安装长度也比直通阀短，但比闸阀长，同时不具有完全（可目视检查的）自由通道。公称尺寸的选择是有限的。蝶阀通过翻转通道上的阀板来关闭。高真空版本用于涡轮泵前，通过改变截面来控制“下游”操作中的气体流量。通过一些附加组件，这一步骤可以实现自动化。我们的控制阀拥有多种型号。

气体定量阀可用于设置低气体流量。自动版本用于“上游”控制。普发真空提供带“软泵”的两级阀以平稳抽气。

密封件和密封机构

本节将帮助您根据以下要求选择阀门：

• 阀门处于多高温度下？
• 阀门接触哪些气体？
• 阀门所承受的压力是多少？

内部泄漏率和外部泄漏率是有区别的。内部泄漏率表示阀门关闭位置的密封性。外部泄漏率表示阀体在大气压力下的密封性。虽然外部泄漏率可以通过金属密封和波纹管降低到 UHV 兼容水平，但内部密封通常使用弹性体。阀门最常用 O 型圈形式的弹性体密封。阀板上的弹性体（通常是 FKM）和执行器类型决定了阀门的烘烤温度。经过精确加工后，FKM 密封的阀门具有优良的化学性能和良好的渗透和出气特性，适合于超高压。

膜片密封由 FKM 等弹性体制成。其功能原理是：膜片的边缘与阀体相连，而中心与活动膜片相连。流动方向的马鞍尖突起与凹陷的膜片接触，阻断流动。弹性体密封件非常适合用于高真空及温度高达约 100 °C 的前级。

金属密封件不含弹性体，因此与 UHV 兼容。它们可以在 300 °C 的温度下进行烘烤，并且可以在高达 10^-12 mbar 的真空中使用。

执行器类型

本节将帮助您根据以下要求选择阀门：

• 阀门应该具备哪些功能？
• 阀门是否要安装到现有系统上？

带手轮或快速关闭/开启的基本型手动阀大多适用于 150 ℃ 以下的高温。它们不受电子元件或敏感的供气管线的限制，只是在耐温方面受到密封的限制。

气动阀需要无油的压缩空气供给，由其提供开关动力。经常使用的标准是“无压关闭”（“常闭”），然而也可使用双动气压缸。

根据您的规格，对压缩空气供应管线中的小控制阀用电压进行电气开关。先导阀可以直接安装在阀门上，也可以安装在中央控制系统的阀门终端上。

位置指示器采用各种不同的技术：微动开关、簧片开关和双极性结型晶体管。它们指示打开或关闭的位置。微动开关是一种机械开关，这意味着它是通过机械方式触发的。簧片开关是一种由外加磁场操作的电气开关。真空阀执行器中的永磁体负责提供磁场。双极性晶体管（NPN 和 PNP）与信号放大器不同，可通过晶体管基极的偏置，用作“开/关”固态开关。
电磁阀直接用电磁铁打开。由于开关性能限制，这些阀门直径较小，最高可达 DN 40