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420MXYZ040-200
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XYZ 轴精密操纵器,不锈钢,DN 40 CF
订单号: 420MXYZ040-200

  • 用于精确3轴调节的紧凑结构
  • Z轴:滚珠丝杠驱动的滚珠轴承导轨
  • XY 轴:精密交叉滚子导轨
  • 无间隙,无粘滑效应
  • 导轨和驱动装置无磨损,不需维护
  • 极为坚固的结构能够在压力变化时使位置偏移最小化。
  • 带有便于操作和读数的大转轴的XY轴螺旋测微器
  • 用于 Z 轴的锁紧制动器防止了自行移动
  • 带有贯通孔的连接法兰,带有螺纹孔的过程法兰
X/Y 偏差 ± 12.5 毫米
公称通径 DN 40 CF
内径 38 mm
决议 5 µm
准确性 < 5µm (XY轴)
压力范围 1 · 10-10 hPa 至环境压力
安装方向 任何
提升位移 200 毫米
烘烤温度 230 °C
物料 波纹管:316L 不锈钢,法兰和管:304L 不锈钢,外壳:304 不锈钢,XY 单元:阳极氧化铝
球螺纹驱动的上升 2 mm/转
紧张 < 1 · 10-11 Pa m3/s | < 7.5 · 10-11 Torr l/s | < 1 · 10-10 mbar l/s
重复准确性 5 µm

尺寸图-TIM-RS

A
225 – 425
B
515 毫米
C
82 毫米
D
321 毫米
E
63.5 毫米
F
232 毫米
文件名 类型 语言 日期 文件大小
数据表 PDF ZH 2019-06-25 ~ 322.8 KB
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