执行器类型

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Intellisys [IQ] 非密封蝶阀为设备制造商提供了无与伦比的压力控制性能,而且颗粒生成较少。Intellisys 自适应算法可在变化的腔室压力和流量条件下实时优化相位和增益设置,其性能优于"学习模式"。
Intellisys [IQ] 非密封蝶阀为设备制造商提供了无与伦比的压力控制性能,而且颗粒生成较少。Intellisys 自适应算法可在变化的腔室压力和流量条件下实时优化相位和增益设置,其性能优于"学习模式"。
Intellisys [IQ] 钟摆阀为设备制造商提供了无与伦比的压力控制性能,而且颗粒生成较少。Intellisys 自适应算法可在变化的腔室压力和流量条件下实时优化相位和增益设置,其性能优于"学习模式"。
除截止功能外,特别设计的阀门还有在真空工艺中气体计量的任务。
除截止功能外,特别设计的阀门还有在真空工艺中气体计量的任务。

普发真空与 Intellisys 一起提供下游压力控制产品,通过更高的分辨率、速度和可靠性提供可观的工艺优势。这些优势是所有 Intellisys 控制系统中嵌入的两个核心功能的直接结果。首先是结合了硬件和软件的独特专利闭环电机控制技术。它使得 Intellisys 控制阀能够以高速和极其精细的位置分辨率运行。其次,以这些性能为基础的一种自适应压力控制算法,能在广泛的系统条件下产生近乎完美的压力控制性能,而无需“学习”比例-积分-微分 (PID) 参数。除了压力控制系统的优点外,还有一系列用于优化控制性能和可靠性的阀门功能和特性。功能包括选择直接驱动、齿轮驱动和滚珠丝杠驱动的阀门,这些阀门无需依赖不可靠的机械或光学开关来确定阀门行程终点,而是由闭环电机位置反馈信号感应的硬止点作为开关指示器。此外,所有 Intellisys 控制阀,无论是何种类型,设计都充分确保可控性和传导性。节流板和执行机构可实现下游压力控制系统的特定行为特性和可靠性能。

每一套完整的下游压力控制系统设计都包含节流阀、阀门控制器和真空表三部分。普发真空在所有这些类别中都有产品可供选择。可供选择的节流产品包括蝶阀和钟摆阀系列。阀门的选择取决于预期的应用,但每种阀门都有多种尺寸和法兰类型,并有许多可选功能和特性。

自适应压力控制器 (APC) 可针对每种类型的阀门或阀门驱动提供,并且有两种形式。首先,控制器可直接集成在阀门上,形成一种紧凑的一体化解决方案。其次,独立的地埋箱式控制器通过电缆连接到阀门上,对于不适合控制器电路板的应用环境是一种理想选择。无论哪种类型,所有 Intellisys 控制器都有一个 RS-232 通信接口,并提供 RS-485、Analog/TTL、DeviceNet 和 EtherCat 通信供选择。

电容隔膜压力表 (CDG) 采用超稳定的陶瓷隔膜和先进的数字电路,有非加热和加热型号。它们可以实现精确的压力测量,不受气体类型的影响。这些压力表适用于所有常见的真空范围,并可附带提供最常用的真空连接。

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