动平衡技术的革命： Laser Balancing™使涡轮分 子泵的运行更加高效
自1958年发明以来，涡轮分子泵（简称分子泵）一直被认为是高 真空技术的驱动力。由于其可靠的真空生成能力，它已成为半导 体生产和其他行业中不可缺少的组成部分。它的发明者WilliBecker，当时在Arthur Pfeiffer Vakuumtechnik GmbH（今天的 Pfeiffer Vacuum GmbH）担任了13年的技术实验室负责人，他 几乎想不到在63年后，一束激光将引领分子泵进一步革新。这是 因为激光动平衡 可以提高涡轮 分子泵的使用寿命和性能。激光动平衡是在普发真空开发的。--这个地方就是当年Willi Becker发明涡轮分子泵的 公司。
涡轮分子泵的结构
时至今日，涡轮分子泵仍然是产生无油高真空和超高真空的关键。被发明后，它立 即逐渐取代了原有的真空产生的抽气原理。在20世纪60年代，人们对高真空的需求 开始越来越多，于是迅速将涡轮分子泵确立为在各种应用中作为高真空和超高真空 产生的标准。离开了它的使用，半导体制造或镀膜的许多工艺步骤就不可能实现。
涡轮分子泵的设计类似于涡轮机。在泵的内部，几个转子 盘被安装在一个轴上（图 1）。在它们之间是定子盘，其 叶片方向与转子叶片方向呈镜像反转。因此，要泵送的气 体分子从高真空法兰沿着各个涡轮级被输送到前级真空法 兰。涡轮分子泵的转子有一个无刷三相同步电机驱动。这 使得旋转频率可以达到1500Hz。转子轴的轴承则由高真空 侧的永磁轴承和前级真空侧的高性能球轴承组成。尽管球 轴承有少许的润滑油，但该泵产生的是无油真空。
这种复合轴承在机械工程中很少见，它代表了轴承的一个特殊应用，因此也代表了 它的动平衡技术，与通常的轴承技术不同。结合非常高的速度，涡轮分子泵转子的 动平衡是一项特别具有挑战的技术。这是因为动平衡质量对涡轮分子泵的使用寿命 和性能有很大影响。
混合轴承涡轮泵的剖面模型，显示了带有永磁轴承和球轴承的转子轴轴承布置。
转子平衡的背景
在实践中，每个旋转部件都会表现出一定的不平衡，这是不可能完全避免的。为了 能够在以后的运行中尽可能地减少振动，必须采取适当的措施来减少越来越快的旋 转转子的不平衡。最典型的过程可能是平衡汽车轮胎的过程。如果车轮表现出不平 衡，这将通过方向盘的振动而变得明显。这种物理现象也被称为离心力。DIN ISO标 准的定义将转子的不平衡描述为：由于不平衡的离心力，振荡力和运动被传递到轴 承上的情况。
即使是视觉上看起来对称的物体，在现实中也会出现质量分布的轻微不平等。例 如，这可能是由于部件的制造过程或原材料密度的不均匀性造成的。不平衡这一术 语描述了这种不平衡的质量分布。其他原因可能来自于设计或装配。此外，由于磨 损或沉积，不平衡也可能在运行中发生。
这只是摘录。
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