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3D 解析半导体工厂

3D 解析半导体工厂

360º 全面解析普发真空方案

一个典型的半导体车间分四层:在顶层的无尘室内有生产设备及污染管理专用设备。在无尘室下面 — 所谓的衬板上 — 是用来对闸门或转接室抽真空的干泵。再下面一层是设备的冷却机、电源和 RF 发生器。最底层装有干式泵和废气处理(减污)装置。

请您体验我们的半导体生产设备解决方案 — 360°全方位 3D 效果!请点击我们半导体车间模型的各层和组成部分,了解普发真空为不同需求所提供的产品!

3D 演示 HiPace 涡轮泵工作原理

3D 演示 HiPace 涡轮泵工作原理

请观看涡轮泵内部结构

每分钟高达 90000 转,在外径上接近声速,真空条件高达 10 -11 mbar - 我们的涡轮泵以功能和可靠性取胜。请您在 3D 效果中跟随气体分子运动进入涡轮泵,了解普发真空 HiPace 工作原理和结构。

3D 演示 OktaLine 罗茨活塞泵工作原理

3D 演示 OktaLine 罗茨活塞泵工作原理

了解普发真空 OktaLine

请观看普发真空罗茨活塞泵内部结构!在 3D 截面模型中了解泵的组件,并跟随气体分子运动进入 OktaLine。详细了解工作原理和罗茨活塞设计。

3D 解析普发真空 A4 系列多级罗茨泵

3D 解析普发真空 A4 系列多级罗茨泵

请您在 3D 效果中探索普发真空 A4 系列多级罗茨泵!

半导体工业的工艺不断为所使用的真空泵带来新挑战。A4 系列基于普发真空经实践验证的高能效多级罗茨泵。跟随泵内工作过程和分子运动!

3D 解析普发真空 ISO-KF 法兰系统

3D 解析普发真空 ISO-KF 法兰系统

普发真空 ISO-KF 法兰系统的生产符合 DIN 28403 和 ISO 2861 标准。
请您在三维效果中了解普发真空 ISO-KF 法兰系统的设计、组件及工作原理!

3D 解析普发真空 MVP 隔膜泵

3D 解析普发真空 MVP 隔膜泵

紧凑的设计、便捷集成于现有系统 — 普发真空的隔膜泵以占地空间小取胜。请您在 3D 效果中探索泵的内部,详细认识它们的组件并了解其工作模式!

3D 解析 DuoLine 叶轮式旋转泵

3D 解析 DuoLine 叶轮式旋转泵

请观看普发真空 DuoLine 内部结构!

轻巧、紧凑、功能强大 — 普发真空 DuoLine 叶轮式旋转泵是市场上同等抽吸能力等级中最小巧的。请您了解泵的设计并在 3D 效果中跟随分子运动!

ISO-K and ISO-F flange systems

ISO-K and ISO-F flange systems

Experience the design, components and functional principle of ISO-K and ISO-F flange systems from Pfeiffer Vacuum in 3D!

PrismaPro quadrupole mass spectrometer in 3D

Functional principle of the PrismaPro quadrupole mass spectrometer

Experience the function and design of the PrismaPro quadrupole mass spectrometer with Faraday and C-SEM detector from Pfeiffer Vacuum. Follow the molecules on their way through the analyzer of the PrismaPro and learn how residual gas analysis is performed in high vacuum!

New leak detectors ASM 390 and ASM 392 in 3D!

Leak detectors ASM 390 and ASM 392 in 3D

Rapid pump down time, high sensitivity, accurate results and minimal detection time: The ASM 390 and ASM 392 are the perfect solution for the semiconductor and the display industries as well as for other demanding applications.

A frictionless backing pump, a powerful high vacuum pump – they are ideal for leak testing in clean environments.

Speed up your leak detection process to reduce the downtime of your production equipment with the ASM 392 – it comes with an additional turbopump!

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