360º 全面解析普发真空方案

一个典型的半导体车间分四层：在顶层的无尘室内有生产设备及污染管理专用设备。在无尘室下面 — 所谓的衬板上 — 是用来对闸门或转接室抽真空的干泵。再下面一层是设备的冷却机、电源和 RF 发生器。最底层装有干式泵和废气处理（减污）装置。

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