Robust
Perfekt geeignet für anspruchsvolle Halbleiter-Prozesse, Nickelbeschichtung für erhöhte Korrosionsbeständigkeit, optionale Auslegungen für Umgang mit Nebenproduktbildung
Zuverlässig
Längere Lebensdauer
Effizient
Hocheffiziente Motoren, begrenzter Einsatz von Elektroheizungen, kosteneffizient
Technische Ausführung
Märkte und Anwendungen
Halbleiteranwendungen
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PVD
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Metall- & High-k-Ätzen
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Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD)/Diffusion
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Oxid-Ätzen
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Strippen/Veraschung
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PECVD
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Glühen
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Poly-Silizium-Ätzen
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Lichtinduzierte Abscheidung