坚固耐用
非常适合要求严苛的半导体工艺，镍涂层可提高耐腐蚀性，还设有应对副产物生成的设计选项
可靠
延长使用寿命
高效
高效电机，减少电加热器的使用，经济高效
技术规格
市场和应用
半导体应用
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PVD
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金属和高 K 蚀刻
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LPCVD / 扩散
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氧化物蚀刻
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剥离 / 灰化
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PECVD
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退火
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Si Poly etch
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轻沉积