내구성
가혹한 반도체 공정에 완벽하게 적합, 내부식성을 높이기 위한 니켈 코팅, 부산물 발생을 처리하기 위한 디자인 옵션
신뢰성
수명 연장
효율성
고효율 모터, 전기 히터 제한적 사용, 비용 효율적
기술 사양
시장 & 어플리케이션
반도체 응용 분야
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PVD
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금속 및 높은 K 에칭
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LPCVD / 확산
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산화물 에칭
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스트리핑 / 애싱
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PECVD
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풀림
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Si Poly 에칭
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라이트 메탈 증착