Herausragende Leistung
Hochmoderne Schrauben-Vakuumtechnologie, hervorragende Laufeigenschaften, integrierter Vakuum-Booster, hervorragende Partikelverträglichkeit, optimal geeignet für Halbleiteranwendungen, die Flachbildschirmproduktion und Solarenergieanwendungen
Effizient
Niedrige Betriebskosten, minimale Wartung, lange Service-Intervalle, hohe Verfügbarkeit, effiziente indirekte Wasserkühlung, hoher Wasserstoffdurchsatz, variable Temperaturüberwachung, geringes Vibrationsniveau
Kompakt
Platzsparende Konstruktion, direkt montierter Spaltrohrmotor, integriertes Bedienpanel, Vorpumpe und Vakuum-Booster auf einem kompakten Grundrahmen
Technische Ausführung
Märkte und Anwendungen
Halbleiteranwendungen
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Metall- & High-k-Ätzen
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Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD)/Diffusion
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ALD
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PECVD
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Poly-Silizium-Ätzen
Solarindustrie
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Zellproduktion
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Kristallziehen