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전 세계

COBRA DS 2141 A

건식 스크류 진공 펌프

또는 당사에 문의하십시오: +49 (0)6441 802-1222

고성능

고사양의 스크류 설계, 우수한 작동 품질, 내장된 진공 부스터, 우수한 파우더 처리 능력, 반도체 어플리케이션, Flat panel 디스플레이 생산 및 태양광 발전 어플리케이션에 매우 적합

효율성

낮은 소유 비용, 최소한의 유지보수, 긴 서비스 간격, 높은 가동 시간, 효율적인 간접 수냉식, 높은 수소 처리량, 가변 온도 조절, 저진동

컴팩트한 디자인

어디에나 설치 가능, 직결식 캔드 모터, 통합 콘트롤 판넬, 컴팩트한 베이스 프레임에 통합된 보조 펌프 및 진공 부스터

기술 사양

시장 & 어플리케이션

반도체 응용 분야
  • 금속 및 높은 K 에칭
  • LPCVD / 확산
  • ALD
  • PECVD
  • Si Poly 에칭
태양열 발전 산업용
  • 셀 제조
  • 잉곳 풀링