性能出色
先进的螺杆设计，出色的运行品质，集成罗茨泵，强劲的粉末处理能力，非常适用于半导体应用、平板显示器生产及太阳能应用
效率高
拥有成本低，维护少，保养间隔长，正常运行时间长，出色水冷却，高氢气吞吐量，变温控制，低振动水平
结构紧凑
密闭式设计，直联的罐装电机，集成控制面板，前级泵和罗茨泵组合安装于底座上
技术规格
市场和应用
半导体应用
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金属和高 K 蚀刻
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LPCVD / 扩散
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ALD
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PECVD
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Si Poly etch
太阳能发电行业
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电池制造
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硅锭拉拔