COBRA Semicon

Die trockenen Schrauben-Vakuumpumpen COBRA BC eignen sich hervorragend für Aufgaben in der Halbleiter-Produktion, insbesondere in Load-Lock- und Transferkammern. Zu den weiteren Einsatzbereichen zählen Messtechnik, Lithografie, physikalische Gasphasenabscheidung (PVD), Rapid Thermal Annealing (RTA) und Silikonätzen.

Die patentierte Konstruktion mit selbstausbalancierenden Schrauben sorgt für einen äußerst vibrationsarmen und leisen Betrieb.

Die Schraubenrotoren der COBRA BC Vakuumpumpen sind aus einem Guss gefertigt, um jede Art von Spalten auszuschließen. Der Eintritt von Prozessflüssigkeiten oder Partikeln ist somit unmöglich. Dadurch werden Korrosion und Ablagerungen wirksam verhindert.

Das besondere Merkmal der COBRA BC Vakuumpumpen ist die glockenförmige, freitragende Konstruktion: Der Doppelrotor mit asymmetrischen Schrauben ist lediglich motorseitig befestigt. Die einzigartige fliegende Lagerung macht Einlasslager überflüssig. Das Fördermedium kommt daher nicht mit den Lagern in Kontakt. Hierdurch wird eine saubere Vakuumerzeugung gewährleistet, und das Fördermedium kann vollständig rückgewonnen werden.

Die Vakuumpumpen der Baureihe COBRA BC verfügen über eine effiziente direkte Wasserkühlung. Dadurch stellt sich eine gleichmäßige Temperaturverteilung über das gesamte Pumpengehäuse ein. Außerdem ist während des gesamten Prozesses thermische Stabilität gewährleistet.

Das vollständig offene Kommunikationsprotokoll (Modbus TCP-IP) ermöglicht die Steuerung aller Funktionen. Dazu zählen Energiesparmodi und der variable Drehzahlantrieb. Mit Standard-Schnittstellenkomponenten ist eine einfache Anpassung an spezifische Netzwerkprotokolle möglich.

Durch den direkt montierten Spaltrohrmotor weisen die Vakuumpumpen der COBRA BC Baureihe sehr kompakte Abmessungen auf. Ihre platzsparende Bauweise ermöglicht die schnelle und einfache Nachrüstung in bestehenden Systemen.

COBRA DS trockene Schrauben-Vakuumpumpen sind die idealen Vakuumerzeuger für anspruchsvolle Halbleiteranwendungen – insbesondere dann, wenn ein hoher Wasserstoff-Durchsatz erforderlich ist. Sie eignen sich daher perfekt für die chemische Gasphasenabscheidung (CVD), Rapid Thermal Processing (RTP) und Atomic Layer Deposition (ALD).

Einige Baugrößen der COBRA DS Baureihe verfügen über einen integrierten Hochleistungs-Vakuum-Booster. Diese Kombination einer Vorpumpe mit einem Vakuum-Booster sorgt für höhere Saugvermögen und Enddrücke.

Das selbstausbalancierende Schraubendesign der Vakuumpumpe ist eine patentierte Innovation. Dieses Merkmal gewährleistet hervorragende Partikelverträglichkeit und hohe Verfügbarkeit.

Die Schraubenrotoren der COBRA DS Vakuumpumpen sind aus einem Guss gefertigt, um jede Art von Spalten auszuschließen. Der Eintritt von Prozessflüssigkeiten oder Partikeln ist somit unmöglich. Dadurch werden Korrosion und Ablagerungen wirksam verhindert.

Die Vakuumpumpen der COBRA DS Baureihe arbeiten mit einer effizienten, indirekten Wasserkühlung. Dadurch kann die Temperaturverteilung im gesamten Pumpengehäuse geregelt werden. Eine Reaktion auf Schwankungen im Prozess ist jederzeit möglich.

Dank ihrer platzsparenden Bauweise können COBRA DS einfach und schnell in bestehenden Systemen nachgerüstet werden.