잔류 가스 분석 시스템

청정도 검증을 위한 시스템 솔루션

잔류 가스 분석 시스템(RGA)은 질량 분석법을 사용하여 진공 환경의 가스 조성을 분석하고 잠재적인 오염을 검출합니다. 이를 통해 최적의 제품 품질과 공정 안전을 보장합니다.

RGA는 진공 용광로 또는 진공 코팅 등의 응용 분야에서 사용됩니다. 당사의 포트폴리오에는 턴키 솔루션과 컴팩트 솔루션이 모두 포함됩니다.

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고객 지원.

잔류가스 분석(RGA)에 대한 심층적인 지식을 바탕으로 한 순도 테스트

기술 요구 사항이 계속 증가하면서 빠르게 확장되는 시장에서는 분자 오염이 제품의 기능에 영향을 미치기 때문에 최고 수준의 청결도가 점점 더 강조되고 있습니다. 전문적인 품질 보증의 핵심은 고진공 조건에서 질량 분석기를 사용하여 가스 방출 속도를 정확하게 결정하는 것입니다. 우리는 잔류 가스 분석을 위한 광범위한 분석 장치 포트폴리오를 통해 수년간 고객을 지원해 왔습니다 . 테스트 요구 사항도 시간이 지남에 따라 변경됩니다. OmniGrade 및 HiCube Neo RGA를 통해 우리는 더 높은 수준의 가치 창출을 제공하고 고객에게 더 많은 혜택을 제공하기 위해 잔류 가스 분석용 제품 포트폴리오를 확장하고 있습니다.

OmniGrade

잔류 가스 분석을 위한 모듈형 시스템

당사의 OmniGrade는 청정도 검증을 위한 완벽한 맞춤형 솔루션으로, 개별적으로 구성되고 최적화되어 있습니다. 모든 검사 작업은 다릅니다. 당사의 전문가 팀은 모든 범위의 Pfeiffer 제품을 이용하여 고객의 요구 사항에 가장 적합한 시스템을 구성합니다.

4중극자 질량 분석기, 진공 펌프, 챔버 및 OmniGrade에 맞게 선택된 기타 개별 부품과 같은 부품뿐만 아니라 맞춤식 턴키 솔루션의 총 운영 비용과 배송 시간도 고려됩니다.

당사의 전문 지식을 통해 불필요한 노력을 최소화하면서 필요한 정밀도로 검사 결과를 달성할 수 있습니다.

측정할 수 있는 정밀도

4중 극자 질량 분석기(PrismaPro 또는 HiQuad Neo) 의 선택 과 챔버 수 결정은 달성 가능한 검출 한계에 상당한 영향을 미칩니다. 표준 시스템에는 두 개의 챔버가 있는데, 하나는 테스트 표본이 놓여 있고 다른 하나는 분광계가 위치합니다. 필요한 경우 이 구조는 세 번째 챔버인 잠금 챔버로 보완될 수 있습니다. 이는 환경으로 인한 측정 챔버의 오염을 방지하고 표면적을 크게 줄입니다. 시스템을 베이크 아웃함으로써 최적의 상태로 조절되어 측정 성능이 더욱 향상됩니다.

개별 구성 요소

PrismaPro 또는 HiQuad Neo 를 사용한 질량 분석기
터보 펌프 HiPace 300 M
건식 배압 펌프
진공 챔버 및 구성 요소
총 압력 측정
진공 시스템 솔루션

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저희에게 연락 주시기 바랍니다 , 우리는 귀하의 요구 사항을 기대합니다!

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OmniGrade 혜택

모듈형 시스템을 사용하여 요구 사항에 맞게 실행
낮은 검출 한계 가능
완전 자동화된 측정 프로세스
전세계 서비스 네트워크
GSA 07 1221 및 GSA 07 2221에 따른 테스트

애플리케이션

HiCube Neo RGA

잔류 가스 분석을 위한 컴팩트 다목적 솔루션

HiCube Neo RGA 시스템은 잔류 가스 분석을 위한 컴팩트 솔루션입니다. 사용하기 용이하며 정밀한 측정을 위한 감도는 물론 높은 정확도를 제공합니다. 이 시스템은 HiCube Neo 터보 진공 펌프 기계 및 PrismaPro 질량 분석기를 통합하여 신뢰할 수 있는 가스 분석을 보장합니다.

터보 펌프는 질량 분석에 필요한 고진공 수준을 생성하며, PrismaPro는 응용 분야와 관련된 특정 질량 범위의 분자를 검출하도록 맞춤화되어 있습니다. 이를 통해 잔류 가스를 정확하게 식별하고 분석할 수 있습니다.

HiCube Neo RGA는 코팅에서 진공 용광로에 이르는 다양한 응용 분야에 이상적입니다.

안심할 수 있는 내장형 안전 기능

HiCube Neo RGA는 대기 압력에서 고진공 압력 범위 내에서 작동할 수 있습니다. 이 제품에는 정밀한 흡입 압력 조정을 위한 통합 차단 밸브가 장착되어 있습니다. 이 시스템에는 DigiLine 전체 범위 트랜스미터가 장착되어 있어 총 압력을 지속적으로 모니터링하여 질량 분석기를 보호합니다. 압력이 안전 수준을 초과하면 트랜스미터가 자동으로 질량 분석기 내부의 필라멘트 셧다운을 트리거하여 손상을 방지합니다. 이 방식은 작동 오류로부터 시스템을 보호하고 값비싼 필라멘트를 교체할 필요가 없어 장기 유지보수 비용을 절감할 수 있습니다.

모든 요구 사항을 충족하는 유연한 연결성

HiCube Neo RGA는 디지털 및 아날로그 입력과 출력을 모두 제공하여 압력이나 가스 흐름과 같은 외부 데이터를 수집할 수 있습니다. 이 데이터를 외부 제어 장치로 전송하여 종합적인 공정 모니터링이 가능합니다.

통합 HiCube Neo는 측정값을 표시할 뿐만 아니라 진공 게이지와 같이 연결된 외부 부품의 신호도 표시하는 터치 스크린을 통해 직관적으로 제어할 수 있습니다. 이를 통해 분석을 완벽하게 제어할 수 있습니다. 또한 PV MassSpec 소프트웨어를 사용하면 데이터에 쉽고 빠르게 액세스할 수도 있습니다.

HiCube Neo RGA는 특정 공정에 맞게 맞춤화할 수 있습니다. 예를 들어, 진공이 생성되는 챔버인 리시버에 히터를 장착할 수 있습니다. 이렇게 하면 챔버 벽에 흡착되었을 수 있는 잔류 가스를 증발시킬 수 있습니다. 작동 중에 갇힌 이러한 가스는 서서히 방출되어 측정을 방해하여 원치 않는 배경 신호를 생성할 수 있습니다. 챔버를 가열하면 이러한 잔류 가스가 탈착 및 배출되어 오염을 줄이고 분석의 정확도를 향상시킵니다. 이 시스템에는 샘플 취급의 유연성을 높이기 위해 수동 흡입 밸브를 추가로 장착할 수 있습니다. 또한 트롤리에 장착하면 HiCube Neo RGA가 이동식 솔루션으로 변신하여 여러 장소에서 쉽게 운반하고 사용할 수 있습니다.

HiCube Neo RGA의 장점

가스 분석을 위한 비용 최적화 솔루션
사용자 친화적인 소프트웨어
컴팩트한 디자인
터치 디스플레이를 통한 손쉬운 작동
완벽하게 사용자 지정 가능
턴키 솔루션(사전 조립)

HiCube Neo RGA의 응용 분야

맞춤형 시스템이라고 하면

맞춤형 시스템 분야에서는 잔류 가스 분석 시스템 외에도 더 많은 것을 제공할 수 있습니다. 수년간의 경험을 통해 얻은 반도체, 제약, 야금 및 신흥 시장의 요구 사항에 대한 당사의 지식은 귀하가 업계에서 자신의 입지를 확고히 하는 데 도움이 되는 최첨단 시스템 개발에 활용됩니다. 예를 들어, 우리는 모든 단계에서 오염물질을 식별 및 최소화하고 생산 공정을 최적화하는 것을 목표로 하는 오염 관리 시스템을 개발했습니다 . 향상된 품질과 단축된 사이클 시간을 통해 더 높은 수율을 달성합니다.

누출 테스트 작업을 위해 부분적으로 조립된 모듈

자급자족형 장치 외에도 당사는 귀하의 시스템에 통합할 수 있는 모듈형 솔루션도 제공합니다. 여기에는 무엇보다도 연속 생산을 위해 생산 라인에 통합할 수 있는 누출 테스트 모듈 (줄여서 LTM) 이 포함됩니다. 사전 시리즈 생산의 경우 수동 검증을 위한 개별 테스트대로도 사용할 수 있습니다. 고객별로 구성 가능한 모듈은 전체 범위의 테스트 방법 및 매개변수를 포괄할 수 있으며 부분적으로 당사에서 조립합니다. 기계 및 소프트웨어 통합 분야의 경험을 바탕으로 우리는 고객의 솔루션 구현을 지원합니다.