HiPace

HiPace 涡轮分子泵采用创新转子设计，实现高抽速和高气体吞吐率。这些真空泵可提供混合轴承或磁悬浮轴承版本。

混合轴承型号在前级真空端使用陶瓷滚珠轴承，高真空端配备永磁轴承，确保设备坚固可靠。在磁悬浮版本中，主动磁悬浮轴承通过电磁体和距离传感器的协同作用，使转子悬浮并保持非接触式旋转，从而将磨损降至最低。

两种轴承类型均以经久耐用和低维护需求为设计理念，确保真空泵的可靠性能。对于混合轴承型号，陶瓷滚珠轴承和工作液储液罐可在现场于 30 分钟内完成更换，有效减少停机时间，提升生产效率。

HiPace 系列提供多种型号，满足不同应用需求，包括市场上最小的涡轮分子泵：HiPace 10 Neo。该型号采用机械轴承系统，配备油润滑陶瓷滚珠轴承，即使在快速移动或振动环境中也能保持稳定运行。其小巧的占地面积使其特别适合高度集成的分析仪器，例如质谱分析、电子显微镜或便携式系统等应用。

HiPace 提供多款特殊型号，能够适应各类工艺要求。例如，其中部分型号配备了创新的 Holweck 级联装置，对氢气等极轻气体具有出色的压缩性能，这一特性在需要超高真空的工艺流程和科研应用中至关重要。另有型号配备经 Kepla 涂层处理的转子——该等离子体化学表面处理技术能够提升耐腐蚀性，使其特别适用于涂层和半导体制造等严苛环境。