Robust
Erstklassige Hybridlagerung, maximale Verfügbarkeit, Nickel-beschichtete Oberflächen für korrosionsgefährdete Anwendungen
Flexibel
Umfangreiches Portfolio, Standardzubehör und Kommunikationstools
Herausragende Leistung
Hohes Saugvermögen, hervorragende Verdichtung für leichte Gase
Technische Ausführung
Märkte und Anwendungen
Analytik und F&E
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Plasmaphysik
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Hochenergiephysik
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Weltraumforschung
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Ultrahochvakuum
Automobilindustrie und Transport
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Wärmebehandlung
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Weltraumforschung
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Elektronenstrahlschweißen
Krankenhäuser und medizinische Einrichtungen
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Medizinischer Beschleuniger
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Diagnostische Bildgebung
Metallurgie
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Elektronenstrahlschweißen
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Vakuumlöten
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Wärmebehandlung
Halbleiteranwendungen
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PVD
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Inspektion & Messtechnik
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Metall- & High-k-Ätzen
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Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LPCVD)/Diffusion
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Lithografie
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Oxid-Ätzen
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Strippen/Veraschung
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ALD
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PECVD
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Poly-Silizium-Ätzen
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Schleusen & Transfer
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Lichtinduzierte Abscheidung
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Ionenimplantation
Dünnfilmbeschichtung
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Optische Beschichtung
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Dekorative Beschichtung
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Laborbeschichtung
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Verschleißschutzbeschichtung
Zubehör
- Elektrischer Adapter
- Netzkabel
- Anschlusskabel
- Display-Einheit
- Sicherheits- und Montagesätze
- Zubehör zum Fluten
- Sperrgas-Zubehör