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HiPace 1200/1500

터보 진공 펌프

또는 당사에 문의하십시오: +49 6441 802-0

내구성

동급 최고의 하이브리드 베어링 기술, 최대 가동 시간, 부식 응용 분야를 위한 니켈 코팅 표면

유연성

광범위한 포트폴리오, 표준 액세서리 및 커뮤니케이션 도구

고성능

높은 흡입 용량, 경량 가스에 대한 탁월한 압축력

기술 사양

시장 & 어플리케이션

연구 및 R&D
  • 플라즈마 물리학
  • 고에너지 물리학
  • 우주 연구조사
  • 초고진공
자동차 및 운송
  • 열 처리
  • 우주 연구조사
  • E-빔 용접
병원 및 의료 시설
  • 의료용 가속기
  • 진단 이미징
금속 공정
  • E-빔 용접
  • 진공 납땜/솔더링
  • 열 처리
반도체 응용 분야
  • PVD
  • 검사 및 계측학
  • 금속 및 높은 K 에칭
  • LPCVD / 확산
  • 미세가공기술
  • 산화물 에칭
  • 스트리핑 / 애싱
  • ALD
  • PECVD
  • Si Poly 에칭
  • 로드 잠금 및 이동
  • 라이트 메탈 증착
  • 이온 이식
박막 코팅
  • 광학 코팅
  • 장식용 코팅
  • 실험실 코팅
  • 마모 방지 코팅

액세서리

  • 전기 어댑터
  • 전원 케이블
  • 연결 케이블
  • 디스플레이 장치
  • 안전 및 장착 키트
  • 배기 액세서리
  • 밀봉 가스 액세서리