Der Schnüffellecksucher ASM 306 S hilft Ihnen bei der Bewältigung Ihrer täglichen Herausforderungen bei der Dichtheitsprüfung mittels Schnüffelmessungen in neuen Technologien wie E-Mobilität und Wasserstoffantrieben oder bei etablierten Anwendungen in der Kälte- und Klimatechnik. Der ASM 306 S bietet hinsichtlich Empfindlichkeit, Präzision und Wiederholbarkeit alle Vorteile einer bewährten Technologie. Der ASM 306 S kann mit einem Kalibrierleck für Helium und/oder Wasserstoff ausgerüstet werden, das über eine Lebensdauer von zwei Jahren verfügt.

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In der Halbleiterproduktion herrschen reinste Bedingungen im Hoch- und Ultrahochvakuumbereich. Zuverlässiges und hochwertiges Vakuumequipment ist hier ein Muss.

Eine typische Halbleiter-Fab besteht aus vier Ebenen. Im oberen Bereich, dem Reinraum, befinden sich die Fertigungsanlagen und Spezialanlagen für das Kontaminationsmanagement. In der Ebene unter dem Reinraum – dem Subfloor – befinden sich die Trockenläufer zur Evakuierung von Schleusen und Transferkammern. Eine Etage darunter sind die Kühlmaschinen, Stromversorgungen und RF- Generatoren für die Anlagen. Im Untergeschoss sind trockene Pumpen sowie die Abgasaufbereitung (Abatement) installiert.

Erleben Sie unsere Lösungen für Halbleiter-Produktionsanlagen – in 3D und mit 360° Perspektive! Klicken Sie sich durch die einzelnen Ebenen und Bestandteile unseres Halbleiter-Fab-Models und erfahren Sie, welche Produkte Pfeiffer Vacuum für die unterschiedlichen Anforderungen bietet!

Kompakte, tragbare Benchtopgeräte zur Gasanalyse bei Atmosphärendruck. Sie finden insbesondere bei chemischen Prozessen, in der Halbleiterindustrie, Metallurgie, Fermentation, Katalyse, Gefriertrocknung und bei der Umweltanalyse Anwendung.

Die niedrige Nachweisgrenze von (je nach Massenbereich) bis zu <100 ppb, der geringe Gasverbrauch von 1 - 2 sccm und die schnelle Messzeit (bis zu 1 ms/u) zeichnen die neuen Analysegeräte aus.

Bis zu 90.000 Umdrehungen pro Minute, beinahe Schallgeschwindigkeit am Außenradius, Vakuumbedingungen bis zu 10 ^-11 mbar — unsere Turbopumpen überzeugen mit Leistungsfähigkeit und Zuverlässigkeit.

Begleiten Sie die Gasmoleküle in 3D auf ihrer Reise durch die Turbopumpe und lernen Sie das Funktionsprinzip und den Aufbau der HiPace von Pfeiffer Vacuum kennen!

Werfen Sie einen Blick ins Innere der Wälzkolbenpumpe von Pfeiffer Vacuum! Im 3D-Schnittmodel lernen Sie die Bestandteile der Pumpe kennen und folgen den Gasmolekülen auf ihrem Weg durch die OktaLine.

Erfahren Sie mehr über das Funktionsprinzip und das Wälzkolbendesign.

Leicht, kompakt, leistungsstark — die Drehschieberpumpen der DuoLine von Pfeiffer Vacuum sind die kleinsten in ihrer Saugvermögensklasse auf dem Markt.

Lernen Sie das Design der Pumpe kennen und verfolgen Sie die Moleküle auf ihrem Weg in 3D!