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Halbleiterfabrik in 3D

Halbleiterfabrik in 3D

Die Lösungen von Pfeiffer Vacuum in 360º

In der Halbleiterproduktion herrschen reinste Bedingungen im Hoch- und Ultrahochvakuumbereich. Zuverlässiges und hochwertiges Vakuumequipment ist hier ein Muss.

Eine typische Halbleiter-Fab besteht aus vier Ebenen. Im oberen Bereich, dem Reinraum, befinden sich die Fertigungsanlagen und Spezialanlagen für das Kontaminationsmanagement. In der Ebene unter dem Reinraum – dem Subfloor – befinden sich die Trockenläufer zur Evakuierung von Schleusen und Transferkammern. Eine Etage darunter sind die Kühlmaschinen, Stromversorgungen und RF- Generatoren für die Anlagen. Im Untergeschoss sind trockene Pumpen sowie die Abgasaufbereitung (Abatement) installiert.

Erleben Sie unsere Lösungen für Halbleiter-Produktionsanlagen – in 3D und mit 360° Perspektive! Klicken Sie sich durch die einzelnen Ebenen und Bestandteile unseres Halbleiter-Fab-Models und erfahren Sie, welche Produkte Pfeiffer Vacuum für die unterschiedlichen Anforderungen bietet!

Analytikkonfigurator in 3D

Individuelle Vakuumlösungen für die Analytik

Die Lösungen von Pfeiffer Vacuum in 360º

Der Markt für analytische Geräte umfasst alle Anwendungen, für die ein Vakuum innerhalb eines Analyseverfahrens benötigt wird.

Neben der Forschung und Entwicklung gehören beispielsweise auch folgende Märkte dazu:

  • Produktionskontrolle
  • Umweltanalyse
  • Portable Massenspektrometrie
  • Sicherheitskontrolle

Zugeschnitten auf die speziellen Anforderungen der Kunden entwickelt Pfeiffer Vacuum individuelle Kundenlösungen. Die Möglichkeiten sind vielfältig. In der Ansicht sehen Sie nur eine kleine Auswahl an Vakuumlösungen.

Erleben Sie Ihre Lösung speziell für die Analytik – in 3D und mit 360° Perspektive.

Klicken Sie sich durch die einzelnen Ebenen und Bestandteile unseres Models und erfahren Sie, welche Produkte Pfeiffer Vacuum für Ihre Anforderung anbietet.

Gasanalysegerät GSD 350 von Pfeiffer Vacuum

GSD 350 Gasanalysegeräte für Atmosphärendruck

Erleben Sie unseren neuen OmniStar und ThermoStar GSD 350

Kompakte, tragbare Benchtopgeräte zur Gasanalyse bei Atmosphärendruck. Sie finden insbesondere bei chemischen Prozessen, in der Halbleiterindustrie, Metallurgie, Fermentation, Katalyse, Gefriertrocknung und bei der Umweltanalyse Anwendung.

Die niedrige Nachweisgrenze von (je nach Massenbereich) bis zu <100 ppb, der geringe Gasverbrauch von 1 - 2 sccm und die schnelle Messzeit (bis zu 1 ms/u) zeichnen die neuen Analysegeräte aus.

Prozessoptimierung bei Drehschieberpumpen

Prozessoptimierung bei Drehschieberpumpen

Lösungen am Beispiel Duo 65

Drehschieberpumpen werden durch bestimmte Prozessgase und Betriebsarten stark in Anspruch genommen. Durch Verwendung von Hilfsgasen kann die Pumpe optimal geschützt werden. Die Kombination aus Gasballast und Spülgas ist so nur bei Pfeiffer Vacuum erhältlich.

Gasballast findet in erster Linie bei der Trocknung, Gefriertrocknung und Destillation Anwendung. Spülgas wird bevorzugt bei starken Belastungen, korrosiven Anwendungen und bei allen Prozessen mit aggressiven Medien verwendet.

Durch die Vermeidung von Korrosion kann der Pumpe eine längere Lebensdauer bescheinigt werden. Längere Ölwechselintervalle führen außerdem zur Kostenreduktion.

Funktionsprinzip der HiPace Turbopumpe

Funktionsprinzip der HiPace Turbopumpe in 3D

Werfen Sie einen Blick ins Innere der Turbopumpe

Bis zu 90.000 Umdrehungen pro Minute, beinahe Schallgeschwindigkeit am Außenradius, Vakuumbedingungen bis zu 10 -11 mbar — unsere Turbopumpen überzeugen mit Leistungsfähigkeit und Zuverlässigkeit.

Begleiten Sie die Gasmoleküle in 3D auf ihrer Reise durch die Turbopumpe und lernen Sie das Funktionsprinzip und den Aufbau der HiPace von Pfeiffer Vacuum kennen!

Hochleistungs-Wälzkolbenpumpe HiLobe

Hochleistungs-Wälzkolbenpumpe HiLobe in 3D

Neue Hochleistungs-Wälzkolbenpumpe HiLobe in 3D

Diese innovativen Wälzkolbenpumpen bieten durch die individuelle Drehzahlregelung einen nominellen Saugvermögensbereich von 520 – 2.100 m³/h und sind somit perfekt auf kundenspezifische Anforderungen abstimmbar.

Funktionsprinzip der Wälzkolbenpumpe OktaLine

Blick in die OktaLine von Pfeiffer Vacuum

Funktionsprinzip der OktaLine in 3D

Werfen Sie einen Blick ins Innere der Wälzkolbenpumpe von Pfeiffer Vacuum! Im 3D-Schnittmodel lernen Sie die Bestandteile der Pumpe kennen und folgen den Gasmolekülen auf ihrem Weg durch die OktaLine.

Erfahren Sie mehr über das Funktionsprinzip und das Wälzkolbendesign.

Funktionsprinzip der mehrstufigen Wälzkolbenpumpen der A4-Serie

Entdecken Sie die A4-Serie in 3D

Aufbau und Funktion der mehrstufigen Wälzkolbenpumpen von Pfeiffer Vacuum

Die Prozesse der Halbleiterindustrie stellen die eingesetzten Vakuumpumpen immer wieder vor neue Herausforderungen. Die A4 Serie basiert auf dem bewährten, energieeffizienten mehrstufigen Wälzkolbenprinzip von Pfeiffer Vacuum. Verfolgen Sie die Abläufe innerhalb der Pumpe und den Weg der Moleküle!

ISO-KF Flanschsystem in 3D

ISO-KF Flanschsystem von Pfeiffer Vacuum in 3D

Die ISO-KF Flanschsysteme stellt Pfeiffer Vacuum nach DIN 28403 und ISO 2861 her.

Lernen Sie das Design, die Komponenten sowie das Funktionsprinzip der ISO-KF Flanschsysteme von Pfeiffer Vacuum in dreidimensionaler Darstellung kennen!

Membranpumpe MVP von Pfeiffer Vacuum in 3D

Die MVP Membranpumpe in 3D

Kompaktes Design, einfache Integration in bestehende Systeme — die Membranpumpen von Pfeiffer Vacuum überzeugen mit ihrem geringen Platzbedarf. Entdecken Sie die Pumpe von innen in 3D, erfahren Sie mehr über ihre Komponenten und lernen Sie ihre Funktionsweise kennen!

Drehschieberpumpe der DuoLine in 3D

Werfen Sie einen Blick in das Innere der DuoLine

Drehschieberpumpe in 3D

Leicht, kompakt, leistungsstark — die Drehschieberpumpen der DuoLine von Pfeiffer Vacuum sind die kleinsten in ihrer Saugvermögensklasse auf dem Markt.

Lernen Sie das Design der Pumpe kennen und verfolgen Sie die Moleküle auf ihrem Weg in 3D!

ISO-K und ISO-F Flanschsysteme

ISO-K und ISO-F Flanschsysteme in 3D

Erleben Sie das Design, die Bestandteile und das Funktionsprinzip der ISO-K und ISO-F Flanschsysteme von Pfeiffer Vacuum in 3D!

PrismaPro Quadrupol-Massenspektrometer in 3D

Funktionsprinzip des PrismaPro Quadrupol-Massenspektrometer in 3D

Erleben Sie die Funktion und das Design des PrismaPro Quadrupol-Massenspektrometers mit Faraday und C-SEM Detektor von Pfeiffer Vacuum. Folgen Sie den Molekülen auf ihrem Weg durch den Analysator des PrismaPro und erfahren Sie, wie die Restgasanalyse im Hochvakuum abläuft!

Lecksucher ASM 390 und ASM 392 in 3D

Lecksucher ASM 390 und ASM 392 in 3D

Kurze Abpumpzeiten, hohe Empfindlichkeit, akkurate Ergebnisse, kürzeste Prüfzeit: Der ASM 390 und der ASM 392 sind optimale Lecksucher für die Halbleiter- und Display-Industrie sowie für andere anspruchsvolle Anwendungen.

Eine ölfreie, berührungslos arbeitende Vorpumpe, eine leistungsstarke Hochvakuumpumpe – die Lecksucher sind für die Dichtheitsprüfung von Bauteilen aller Art in reinen Umgebungen geeignet.

Beschleunigen Sie Ihre Lecksuchprozesse mit dem ASM 392 noch weiter - er ist mit einer zusätzlichen Turbopumpe ausgestattet!

Integraltest von evakuierten Objekten in Helium

Lecksuchmethoden — Teil 1: Integraltest von evakuierten Objekten in Helium

Von Leck-Lokalisierung über Integraltests bis hin zu Bombing- oder Schnüffelprüfung erfahren Sie, wie die Testprozesse ablaufen. Teil 1 der Serie zeigt den Integraltest von evakuierten Prüfobjekten in einer definierten Heliumatmosphäre.

Schnüffelprüfung

Lecksuchmethoden — Teil 2: Schnüffelprüfung

Von Leck-Lokalisierung über Integraltests bis hin zu Bombing- oder Schnüffelprüfung erfahren Sie, wie die Testprozesse ablaufen. Teil 2 der Serie zeigt die Schnüffelprüfung.

Integraltest von heliumbefüllten Objekten im Vakuum

Lecksuchmethoden — Teil 3: Integraltest von heliumbefüllten Objekten im Vakuum

Von Leck-Lokalisierung über Integraltests bis hin zu Bombing- oder Schnüffelprüfung erfahren Sie, wie die Testprozesse ablaufen. Teil 3 der Serie zeigt den integralen Vakuumtest von mit Helium befüllten Prüfobjekten in einer Vakuumkammer.

Schnüffelprüfung bei Atmosphärendruck

Lecksuchmethoden — Teil 4: Schnüffelprüfung bei Atmosphärendruck

Von Leck-Lokalisierung über Integraltests bis hin zu Bombing- oder Schnüffelprüfung erfahren Sie, wie die Testprozesse ablaufen. Teil 4 der Serie zeigt die Schnüffelprüfung: Den Integraltest bei Atmosphärendruck.

Sprühtest

Lecksuchmethoden — Teil 5: Sprühtest

Von Leck-Lokalisierung über Integraltests bis hin zu Bombing- oder Schnüffelprüfung erfahren Sie, wie die Testprozesse ablaufen. Teil 5 der Serie zeigt den Sprühtest.

Drucklagerungstest

Lecksuchmethoden — Teil 6: Drucklagerungstest

Von Leck-Lokalisierung über Integraltests bis hin zu Bombing- oder Schnüffelprüfung erfahren Sie, wie die Testprozesse ablaufen. Teil 6 der Serie zeigt den Drucklagerungstest — auch Bombingtest genannt.

Micro-Flow -Überdruck-Test-

Lecksuchmethoden — Teil 7: Micro-Flow (Überdruck-Test)

Von Leck-Lokalisierung über Integraltests bis hin zu Bombing- oder Schnüffelprüfung erfahren Sie, wie die Testprozesse ablaufen. Teil 7 der Serie zeigt den Micro-Flow (Überdruck-Test).

Mass Extraction -Vakuum-Test-

Lecksuchmethoden — Teil 8: Mass Extraction (Vakuum-Test)

Von Leck-Lokalisierung über Integraltests bis hin zu Bombing- oder Schnüffelprüfung erfahren Sie, wie die Testprozesse ablaufen. Teil 8 der Serie zeigt Mass Extraction (Vakuum-Test).

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