Halbleiterfabrik in 3D

Die Lösungen von Pfeiffer Vacuum in 360º

In der Halbleiterproduktion herrschen reinste Bedingungen im Hoch- und Ultrahochvakuumbereich. Zuverlässiges und hochwertiges Vakuumequipment ist hier ein Muss.

Eine typische Halbleiter-Fab besteht aus vier Ebenen. Im oberen Bereich, dem Reinraum, befinden sich die Fertigungsanlagen und Spezialanlagen für das Kontaminationsmanagement. In der Ebene unter dem Reinraum – dem Subfloor – befinden sich die Trockenläufer zur Evakuierung von Schleusen und Transferkammern. Eine Etage darunter sind die Kühlmaschinen, Stromversorgungen und RF- Generatoren für die Anlagen. Im Untergeschoss sind trockene Pumpen sowie die Abgasaufbereitung (Abatement) installiert.

Erleben Sie unsere Lösungen für Halbleiter-Produktionsanlagen – in 3D und mit 360° Perspektive! Klicken Sie sich durch die einzelnen Ebenen und Bestandteile unseres Halbleiter-Fab-Models und erfahren Sie, welche Produkte Pfeiffer Vacuum für die unterschiedlichen Anforderungen bietet!

Funktionsprinzip der HiPace Turbopumpe in 3D

Werfen Sie einen Blick ins Innere der Turbopumpe

Bis zu 90.000 Umdrehungen pro Minute, beinahe Schallgeschwindigkeit am Außenradius, Vakuumbedingungen bis zu 10 ^-11 mbar — unsere Turbopumpen überzeugen mit Leistungsfähigkeit und Zuverlässigkeit.

Begleiten Sie die Gasmoleküle in 3D auf ihrer Reise durch die Turbopumpe und lernen Sie das Funktionsprinzip und den Aufbau der HiPace von Pfeiffer Vacuum kennen!

Hochleistungs-Wälzkolbenpumpe HiLobe in 3D

Neue Hochleistungs-Wälzkolbenpumpe HiLobe in 3D

Diese innovativen Wälzkolbenpumpen bieten durch die individuelle Drehzahlregelung einen nominellen Saugvermögensbereich von 520 – 2.100 m³/h und sind somit perfekt auf kundenspezifische Anforderungen abstimmbar.

Funktionsprinzip der Wälzkolbenpumpe OktaLine

Blick in die OktaLine von Pfeiffer Vacuum

Funktionsprinzip der OktaLine in 3D

Werfen Sie einen Blick ins Innere der Wälzkolbenpumpe von Pfeiffer Vacuum! Im 3D-Schnittmodel lernen Sie die Bestandteile der Pumpe kennen und folgen den Gasmolekülen auf ihrem Weg durch die OktaLine.

Erfahren Sie mehr über das Funktionsprinzip und das Wälzkolbendesign.

Funktionsprinzip der mehrstufigen Wälzkolbenpumpen der A4-Serie

Entdecken Sie die A4-Serie in 3D

Aufbau und Funktion der mehrstufigen Wälzkolbenpumpen von Pfeiffer Vacuum

Die Prozesse der Halbleiterindustrie stellen die eingesetzten Vakuumpumpen immer wieder vor neue Herausforderungen. Die A4 Serie basiert auf dem bewährten, energieeffizienten mehrstufigen Wälzkolbenprinzip von Pfeiffer Vacuum. Verfolgen Sie die Abläufe innerhalb der Pumpe und den Weg der Moleküle!

ISO-KF Flanschsystem von Pfeiffer Vacuum in 3D

Die ISO-KF Flanschsysteme stellt Pfeiffer Vacuum nach DIN 28403 und ISO 2861 her.

Lernen Sie das Design, die Komponenten sowie das Funktionsprinzip der ISO-KF Flanschsysteme von Pfeiffer Vacuum in dreidimensionaler Darstellung kennen!

Membranpumpe MVP von Pfeiffer Vacuum in 3D

Die MVP Membranpumpe in 3D

Kompaktes Design, einfache Integration in bestehende Systeme — die Membranpumpen von Pfeiffer Vacuum überzeugen mit ihrem geringen Platzbedarf. Entdecken Sie die Pumpe von innen in 3D, erfahren Sie mehr über ihre Komponenten und lernen Sie ihre Funktionsweise kennen!

Werfen Sie einen Blick in das Innere der DuoLine

Drehschieberpumpe in 3D

Leicht, kompakt, leistungsstark — die Drehschieberpumpen der DuoLine von Pfeiffer Vacuum sind die kleinsten in ihrer Saugvermögensklasse auf dem Markt.

Lernen Sie das Design der Pumpe kennen und verfolgen Sie die Moleküle auf ihrem Weg in 3D!

ISO-K and ISO-F Flanschsysteme in 3D

Erleben Sie das Design, die Bestandteile und das Funktionsprinzip der ISO-K und ISO-F Flanschsysteme von Pfeiffer Vacuum in 3D!

Funktionsprinzip des PrismaPro Quadrupol-Massenspektrometer in 3D

Erleben Sie die Funktion und das Design des PrismaPro Quadrupol-Massenspektrometers mit Faraday und C-SEM Detektor von Pfeiffer Vacuum. Folgen Sie den Molekülen auf ihrem Weg durch den Analysator des PrismaPro und erfahren Sie, wie die Restgasanalyse im Hochvakuum abläuft!

Lecksucher ASM 390 und ASM 392 in 3D

Kurze Abpumpzeiten, hohe Empfindlichkeit, akkurate Ergebnisse, kürzeste Prüfzeit: Der ASM 390 und der ASM 392 sind optimale Lecksucher für die Halbleiter- und Display-Industrie sowie für andere anspruchsvolle Anwendungen.

Eine ölfreie, berührungslos arbeitende Vorpumpe, eine leistungsstarke Hochvakuumpumpe – die Lecksucher sind für die Dichtheitsprüfung von Bauteilen aller Art in reinen Umgebungen geeignet.

Beschleunigen Sie Ihre Lecksuchprozesse mit dem ASM 392 noch weiter - er ist mit einer zusätzlichen Turbopumpe ausgestattet!