Halbleiterfabrik in 3D
Die Lösungen von Pfeiffer Vacuum in 360º
In der Halbleiterproduktion herrschen reinste Bedingungen im Hoch- und Ultrahochvakuumbereich. Zuverlässiges und hochwertiges Vakuumequipment ist hier ein Muss.
Eine typische Halbleiter-Fab besteht aus vier Ebenen. Im oberen Bereich, dem Reinraum, befinden sich die Fertigungsanlagen und Spezialanlagen für das Kontaminationsmanagement. In der Ebene unter dem Reinraum – dem Subfloor – befinden sich die Trockenläufer zur Evakuierung von Schleusen und Transferkammern. Eine Etage darunter sind die Kühlmaschinen, Stromversorgungen und RF- Generatoren für die Anlagen. Im Untergeschoss sind trockene Pumpen sowie die Abgasaufbereitung (Abatement) installiert.
Erleben Sie unsere Lösungen für Halbleiter-Produktionsanlagen – in 3D und mit 360° Perspektive! Klicken Sie sich durch die einzelnen Ebenen und Bestandteile unseres Halbleiter-Fab-Models und erfahren Sie, welche Produkte Pfeiffer Vacuum für die unterschiedlichen Anforderungen bietet!
