Pfeiffer Vacuum

Betriebsmittel

Pfeiffer Vacuum bietet verschiedene Betriebsmittel (Vakuumöle) für Drehschieberpumpen an. Durch das Verwenden von Betriebsmitteln, die zu Ihrem Prozess passen, kann sich die Standzeit der Pumpe erheblich erhöhen. Einfache Mineralöle decken Anwendungen ab wie das Pumpen von Luft oder Edelgasen, sowie Wasserdampf. Mehrfach destillierte Mineralöle widerstehen in anspruchsvollen Anwendungen auch chemischen Angriffen oder ionisierendem Plasma. Diester sind für Temperaturen von bis zu 120 °C geeignet. Perfluorpolyether (PFPE) sind chemisch inert und eignen sich für Prozesse in denen stark korrosive Chemikalien anfallen, z. B. in der Halbleiter- und Dünnschichtindustrie, sowie für Medien mit mehr als 21 % Sauerstoffanteil.

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