Manipulatoren - Pfeiffer Vacuum

Standard-Manipulatoren

Um Bewegungen im Vakuum von grob bis hochpräzise zu ermöglichen werden Manipulatoren und mechanische Durchführungen eingesetzt.
Um Bewegungen im Vakuum von grob bis hochpräzise zu ermöglichen werden Manipulatoren und mechanische Durchführungen eingesetzt.
Um Bewegungen im Vakuum von grob bis hochpräzise zu ermöglichen werden Manipulatoren und mechanische Durchführungen eingesetzt.
Um Bewegungen im Vakuum von grob bis hochpräzise zu ermöglichen werden Manipulatoren und mechanische Durchführungen eingesetzt.

Justiermanipulatoren zum Winkel- und Längenausgleich

Um Bewegungen im Vakuum von grob bis hochpräzise zu ermöglichen werden Manipulatoren und mechanische Durchführungen eingesetzt.

Balggedichtete Drehdurchführungen

Um Bewegungen im Vakuum von grob bis hochpräzise zu ermöglichen werden Manipulatoren und mechanische Durchführungen eingesetzt.

Elastomergedichtete Drehdurchführungen

Um Bewegungen im Vakuum von grob bis hochpräzise zu ermöglichen werden Manipulatoren und mechanische Durchführungen eingesetzt.

Magnetisch gekoppelte Drehdurchführungen

Um Bewegungen im Vakuum von grob bis hochpräzise zu ermöglichen werden Manipulatoren und mechanische Durchführungen eingesetzt.

Elastomergedichtete Dreh-/Schiebedurchführungen

Um Bewegungen im Vakuum von grob bis hochpräzise zu ermöglichen werden Manipulatoren und mechanische Durchführungen eingesetzt.

Magnetisch gekoppelte Dreh-/Schiebedurchführungen

Um Bewegungen im Vakuum von grob bis hochpräzise zu ermöglichen werden Manipulatoren und mechanische Durchführungen eingesetzt.

Balggedichtete Schiebedurchführungen

Um Bewegungen im Vakuum von grob bis hochpräzise zu ermöglichen werden Manipulatoren und mechanische Durchführungen eingesetzt.

Um Bewegungen im Vakuum von grob bis hochpräzise zu ermöglichen werden Manipulatoren und mechanische Durchführungen eingesetzt.

Systeme mit Elastomerdichtung
Eine durchgehende Welle, in einem Gehäuse geführt, ermöglicht sowohl Rotations- als auch Translationsbewegungen. Spezielle Elastomerdichtungen sorgen dabei für die Hochvakuumtauglichkeit, vakuumtaugliches Fett für die leichtgängige Beweglichkeit.
Diese direkte Übertragung ermöglicht eine präzisere Bewegung im Vakuum mit höheren maximalen Kräften und Momenten als bei magnetisch gekoppelten Systemen. Bedingt durch die Elastomerdichtung sind sie jedoch nur HV-tauglich.

Magnetisch gekoppelte Systeme
Magnetisch geführte Dreh-/ Schiebedurchführungen sind für UHV-Anwendungen ausgelegt. Die Drehbewegung wird mit Hilfe einer Magnetkupplung von der Atmosphärenseite ins Vakuum übertragen. Dadurch kann auf eine direkte Durchführung verzichtet werden und die Welle befindet sich in einem nur zur Vakuumseite hin geöffneten Gehäuse.

Membranbalg gedichtete Systeme
Mit einer Einstellauflösung von 0,005 mm gehören die Balgmanipulatoren zu den präzisesten Bewegungsmöglichkeiten im Vakuum. Das flexible Element zur Übertragung der Bewegung ins Vakuum ist der Membranbalg, welcher zugleich die UHV-Tauglichkeit garantiert.
Die Präzision wird durch spindelfreie Kugelumlaufführungen und Antrieben sowie dem massiven Gehäuse erreicht. Die UHV-taugliche Übertragung einer Drehbewegung wird mit einem direkt mit dem Flansch verschweißten Membranbalg ermöglicht.

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