Pfeiffer Vacuum

APA 302

Der APA 302 ist ein einzigartiges produktionsbegleitendes Überwachungssystem für modernste Verfahren zur Herstellung integrierter Schaltkreise im Reinraum. Dieses innovative Gerät misst durch Luftströmungen übertragene molekulare Verunreinigungen (Airborne Molecular Contamination, AMC) in einer Transportbox (FOUP) und in deren unmittelbarer Umgebung. Die Messung erfolgt in Echtzeit mit hoher Empfindlichkeit im ppbv-Bereich.

Verunreinigungen effizient überwachen
Während der Wartezeit vor dem nächsten Prozessschritt werden im Inneren des FOUP Feuchtigkeit und durch Luftströmungen übertragene molekulare Verunreinigungen wie Fluorwasserstoff freigesetzt. Diese Verunreinigungen können Kristallwachstum auf strukturierten Wafern erzeugen, was zu Ausbeuteverlust und Leistungsverschlechterung führt.
Der APA 302 von Pfeiffer Vacuum entnimmt Gasproben durch die Filter eines FOUP. Die hochempfindliche Messung mit Nachweisgrenzen im ppbv-Bereich dauert nur zwei Minuten. Die eingesetzten Analyseverfahren sind Ionenmobilitätsspektroskopie, Flammenionisationsdetektion, UV-Fluoreszenzspektroskopie oder Cavity-Ringdown-Spektroskopie. Befindet sich kein FOUP in den Ladebuchten, analysiert der APA 302 die Umgebung im Reinraum.

Zuverlässige Analyse der FOUP-Umgebung
Der langzeitstabile zuverlässige Betrieb des SEMI S2/S8-konformen APA 302 wird durch regelmäßige Aktivierung der integrierten Autokalibrierungsfunktion sichergestellt. Die Überwachung der AMC innerhalb des APA kann in mit Wafern bestückten oder leeren Transportboxen durchgeführt werden. Die Transportbox kann entweder manuell oder über ein in der Halbleiterproduktion übliches Transportsystem (overhead hoist transportation, OHT) an den beiden Ladebuchten eingesetzt werden. So können die Wartezeiten zwischen den einzelnen Prozessschritten optimiert, erhöhte Werte von Verunreinigungen sofort erkannt und die Ausbeute gesteigert werden.

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