Mass Extraction – Das Dichtheitsprüfverfahren unter Vakuum ohne Prüfgas

Das Mass-Extraction-Verfahren wird unter Vakuum durchgeführt. Dies resultiert in einer verbesserten Nachweisgrenze und thermischer Entkopplung durch die isolierende Wirkung des Vakuums. Diese Art der Prüfung ist besonders geeignet für Verpackungen oder versiegelte Objekte wie gekapselte Elektronikbaugruppen. Während der Prüfung wird der Prüfling in einer Vakuumkammer platziert und die Kammer wird evakuiert. Die Leckagerate des Prüflings wird durch den Fluss aus dem Prüfling zum Vakuumspeicher ermittelt. Mit dieser Methode kann eine Nachweisgrenze von bis zu 7 · 10^-7 mbar l/s erreicht werden.

In einer alternativen Verfahrensführung dieses Messprinzips wird das Innere des Prüflings evakuiert und die eindringende Umgebungsluft gemessen. Dieses Verfahren reduziert die Kosten für die Prüfvorrichtung, da keine Vakuumkammer erforderlich ist.