Analysegeräte für die Prozess- und Qualitätsoptimierung

Pfeiffer Vacuum bietet Ihnen ein umfassendes Spektrum an Analysegeräten zur Gasbestimmung im Vakuumprozess. Vom Massenspektrometer bis zum komplexen Analysesystem finden Sie bei uns die passende Lösung zur Gasanalyse im Bereich Ultrahochvakuum bis zum Atmosphärendruck. Die Basis bildet dabei immer das Quadrupol-Massenspektrometer PrismaPro. Das PrismaPro ist ein universell einsetzbares Massenspektrometer, dessen Feldachsen-Technologie hohe Empfindlichkeit garantiert.

Zudem besticht es durch seine hohe Leistungsfähigkeit und eine schnelle Messgeschwindigkeit. Dabei zeigt das PrismaPro nicht nur die jeweiligen Partialdrücke an, sondern überwacht auch den Totaldruck. Durch seine Schnittstellenoptionen lässt sich dieses Massenspektrometer leicht mit einem Gaschromatographen koppeln.

Seine kompakte Bauweise, der modulare Aufbau und die bedienerfreundliche Software machen es zum idealen Gerät für Lecksuche, Halbleiterfertigung, Glasbeschichtung und Metallurgie. Hinzu kommen unzählige Anwendungsfelder in Forschung & Entwicklung. Für all diese Bereiche bietet Pfeiffer Vacuum seinen Kunden maßgeschneiderte Lösungen. Und natürlich findet man bei Pfeiffer Vacuum auch das notwendige Zubehör für die Massenspektrometrie, wie etwa Kathoden für die verschiedenen Ionenquellen.

Wissenswertes zur Massenspektrometrie

Der Begriff Massenspektrometrie bezeichnet Verfahren, mit deren Hilfe man die Masse von Atomen und Molekülen misst. Die Analyse chemischer Verbindungen erfolgt dabei durch die Messung des Partialdrucks ihrer Komponenten. Zunächst wird die zu untersuchende Substanz in den gasförmigen Aggregatzustand überführt und ionisiert. Durch ein elektrisches Feld werden die Ionen beschleunigt, um sie in einem Massenfilter nach ihrem jeweiligen Verhältnis von Masse zu Ladung zu sortieren bzw. zu trennen.

Anschließend wird der Partialdruck der einzelnen Gaskomponenten ermittelt. Jedes Massenspektrometer besteht aus einer Ionenquelle, einem Massenfilter und dem Detektor. Je nach Art des Massenfilters unterscheidet man verschiedene Massenspektrometer. Bewährt hat sich das Quadrupol- Massenspektrometer auf Grund seiner vielseitigen Einsatzmöglichkeiten. Dieses Analysegerät wird auch in der Vakuumtechnik sehr häufig genutzt.

Massenspektrometer und ihre Anwendungen

Das Quadrupol- Massenspektrometer besitzt vier parallel liegende Stabelektroden, die das Quadrupol-Feld bilden. Deren Schnittpunkte bilden mit der senkrecht zur Zylinderachse stehenden Ebene ein Quadrat (daher der Name Quadrupol). Dabei beschleunigt ein statisches elektrisches Feld die Ionen, bevor sie durch das Quadrupol-Feld fliegen.

Das Quadrupol-Feld zwischen den Stäben erlaubt jeweils nur Teilchen einer bestimmten Masse den Durchlauf und nimmt so die Selektierung vor. Quadrupol-Massenspektrometer gibt es als hochauflösende Variante ebenso wie in einer preisgünstigeren Version als Restgasanalysator. Durch diese Bandbreite kommen solche Massenspektrometer auf vielen Gebieten zur Anwendung, sei es in der Pharmakologie oder Umweltanalytik.