Gasanalyse
Quadrupol-Massenspektrometer sind hervorragende Werkzeuge zur Gasanalyse vom Hochvakuum bis zum Atmosphärendruck.
Durch die Messung des Masse-Ladungs-Verhältnisses der Gasbestandteile erhält man einen Fingerabdruck, der das untersuchte Gas charakterisiert. In vielen Vakuumanwendungen gibt eine solche Restgasanalyse bereits wertvolle Hinweise über den Zustand des Vakuumsystems. Durch Kalibrierung mit Prüfgasen können auch Gaskonzentrationen und Partialdrücke der Komponenten eines Gasgemisches bestimmt werden.
Quadrupol-Massenspektrometer benötigen einen Arbeitsdruck im Hochvakuum von kleiner als 1 • 10-4 hPa. Zur Analyse von Gasen bei höheren Drücken, wie sie in vielen Vakuumprozessen vorherrschen, benötigt man daher ein aufeinander abgestimmtes System von Massenspektrometer, Gaseinlass mit entmischungsfreier Druckreduzierung sowie Vakuumpumpstände und eine Totaldruckmessung. Pfeiffer Vacuum bietet mit den Produkten auf Basis von Quadrupol-Massenspektrometern für jede Gasanalyse im Bereich Ultrahochvakuum bis zum Atmosphärendruck eine geeignete Lösung.
Dank des modularen Aufbaus aus hochwertigen, erprobten Komponenten können die Geräte an praktisch alle Messaufgaben optimal angepasst werden. Unsere Produkt- und Anwendungsspezialisten mit langjähriger Erfahrung beraten Sie gerne bei der Auswahl des geeigneten Analysesystems.
