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PT M52 360
Abbildung ähnlich

SPM 220, für Prozessdruck bis 0,01 hPa, ohne Sicherheitsventil SVV 040, 115–230 V
Bestellnummer: PT M52 360

  • SPM 220, Sputter Process Monitor, Massenbereich 1 – 200 u, 115 – 230 V, 50/60 Hz, für die Prozess- und Restgasanalyse im Druckbereich 0,01 hPa > p > 1 · 10-7 hPa bestehend aus:
  • PrismaPlus mit Quadrupolelektronik QME 220, Quadrupolanalysator QMA 200 M mit SPM-Ionenquelle und zwei Iridium-Filamente, Yttriumoxid-beschichtet
  • Systemsteuerung BRU 220 mit Netzteil TPS 311 und Remoteanschluss für externen Zugriff
  • Turbomolekular-Pumpstand mit HiPace 80 und Vorvakuumpumpe MVP 020-3 DC
  • Totaldruckmessröhre PKR 251
  • Kabelsatz, 3 Meter
  • Quadera®-Software für Windows 7, XP Professional (32bit) zur Parametrierung des PrismaPlus-Systems, sowie zur Aufnahme, Speicherung und Darstellung von Messdaten einschließlich SPM Software Add-In für Quadera®

Aufruf von Lecksuch- und Restgasanalyseroutinen durch einfaches Anklicken. Bestimmung von Gaskonzentrationen und Partialdrücken mittels integrierter Matrixberechnung. Einfache, menugeführte Auswahl von sputterprozesstypischen Messroutinen

Analysator mit SPM-Ionenquelle QMA 220
Anschlussflansch (Eingang) DN 40 CF-F
Detektor C-SEM/Faraday
Einlassdruck max. 1 hPa
Gewicht: Analysator inkl. Turbo 13 kg | 28,66 lb
Kabellänge 3 m
Massenbereich 1 – 200 u
Nachweisgrenze (in Argon): Kohlendioxid < 100 ppb
Nachweisgrenze (in Argon): Sauerstoff < 100 ppb
Nachweisgrenze (in Argon): Stickstoff < 100 ppb
Nachweisgrenze (in Argon): Wasserdampf < 500 ppb
Nachweisgrenze (in Argon): Wasserstoff < 6000 ppb
Prozessdruck bis 1 hPa | 0,75 Torr | 1 mbar
Quadrupol-Steuerung QME 220
Software Quadera®
SPM-Systemsteuerung BRU 220
Stabsystem: Durchmesser 6 mm | 0,24 inch
Stabsystem: Länge 100 mm | 3,94 inch
Stabsystem: Material Edelstahl
Systemsteuerung BRU 220
Turbopumpe HiPace 80 mit TC 110 RS
Versorgung 115 – 230 V
Vorpumpe MVP 020-3

Massbild-TIM-RS

B
290 mm
C
380 mm
Datei Typ Sprache Datum Dateigröße
Datenblatt PDF DE 21.02.2020 ~ 609,9 KB
Stepfile STP DE 05.01.2017 ~ 21,8 MB
Datei Typ Sprache Datum Dateigröße
Betriebsanleitung SPM 220 - Sputter Process Monitor (DA0101BDE) PDF DE 10.05.2012 ~ 5,4 MB
Ihr lokaler Kontakt
Pfeiffer Vacuum Inc.
24 Trafalgar Square
NH 03063-1988 Nashua
USA

+1 (800) 248-8254
+1 (888) 658-7983
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