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PT M52 120
Abbildung ähnlich

HPA 220, für Prozessdruck bis 8 hPa, HPI 040 P, elektropneumatisch betätigt
Bestellnummer: PT M52 120

  • HPA 220, High Pressure Analyzer, Massenbereich 1 – 100 u, 115 – 230 V, 50/60 Hz, für die Prozess- und Restgasanalyse im Druckbereich 8 hPa > p > 1 · 10-7 hPa bestehend aus:
  • PrismaPlus® mit Quadrupolelektronik QME 220, Quadrupolanalysator QMA 200 M mit offener Ionenquelle und zwei Iridium-Filamente, Yttriumoxid beschichtet
  • Ventilinterface HPI 040 P, elektropneumatisch betätigt, Anschlussflansch DN 40 CF-F, mit einem Balgzugschieber zur Freigabe des vollen Öffnungsquerschnitts für die Lecksuche und Restgasanalyse im Hochvakuum, zwei Bypass-Ventile mit auswechselbaren Blenden zur Druckanpassung an verschiedene Kammerdrücke eine dritte Blende, 0.03 mm, ist beigelegt
  • Ventilsteuereinheit VCU 220 und HPA-Ventil-Add-In für Quadera®
  • Systemsteuerung BRU 220 mit Netzteil TPS 311 und Remoteanschluss für externen Zugriff
  • Turbo-Molekular-Pumpstand mit HiPace 80 und Vorvakuumpumpe MVP 020-3 DC
  • Totaldruckmessröhre PKR 251
  • Kabelsatz, 3 Meter
  • Quadera®-Software für Windows 7, XP Professional (32bit) zur Parametrierung des PrismaPlus-Systems, sowie zur Aufnahme, Speicherung und Darstellung von Messdaten
Analysator QMA 220
Anschlussflansch (Eingang) DN 40 CF-F
Detektor C-SEM/Faraday
Druckluft 5 – 7 bar
Einlassdruck max. 8 hPa
Empfindlichkeit für Ar: C-SEM 200 A/hPa
Empfindlichkeit für Ar: Faraday 3 · 10-4 A/hPa
Gewicht: Analysator inkl. Turbo 15 kg | 33,07 lb
Kabellänge 3 m
Massenbereich 1 – 200 u
Nachweisgrenze min.: C-SEM (hPa) 1 · 10-14 hPa | 7,5 · 10-15 Torr | 1 · 10-14 mbar
Nachweisgrenze min.: Faraday (hPa) 1 · 10-11 hPa | 7,5 · 10-12 Torr | 1 · 10-11 mbar
Prozessdruck bis 8 hPa | 6 Torr | 8 mbar
Quadrupol-Steuerung QME 220 M
Software Quadera®
SPM-Systemsteuerung BRU 220
Stabsystem: Durchmesser 6 mm | 0,24 inch
Stabsystem: Länge 100 mm | 3,94 inch
Stabsystem: Material Edelstahl
Systemsteuerung BRU 220
Turbopumpe HiPace 80 mit TC 110 RS
Ventilinterface mit Blenden Ø 0,1 mm und 0,3 mm HPI 040, elektropneumatisch
Ventilsteuereinheit VCU 220
Versorgung 115 – 230 V
Vorpumpe MVP 020-3

Massbild-TIM-RS

A
350 mm
B
290 mm
C
380 mm
D
415 mm
Datei Typ Sprache Datum Dateigröße
Datenblatt PDF DE 28.11.2020 ~ 681,7 KB
Stepfile STP DE 05.01.2017 ~ 25,1 MB
Datei Typ Sprache Datum Dateigröße
Betriebsanleitung HPA 220 - High Pressure Analyzer (DA0100BDE) PDF DE 20.04.2016 ~ 5,5 MB
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24 Trafalgar Square
NH 03063-1988 Nashua
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