Restgasanalyse im Ultrahochvakuum - Pfeiffer Vacuum

Restgasanalyse im Ultrahochvakuum

PrismaPro® QMG 250 M1, 1–100 u

Das modular aufgebaute Kompakt-Massenspektrometer kann optimal an Ihre Anwendung angepasst werden

PrismaPro® QMG 250 M2, 1–200 u

Das modular aufgebaute Kompakt-Massenspektrometer kann optimal an Ihre Anwendung angepasst werden

PrismaPro® QMG 250 M3, 1–300 u

Das modular aufgebaute Kompakt-Massenspektrometer kann optimal an Ihre Anwendung angepasst werden

Quadrupol-Massenspektrometer mit Sekundärelektronenvervielfacher bieten höchste Nachweisempfindlichkeit bei der qualitativen Analyse der Gaszusammensetzung in einer Ultrahochvakuumkammer.

Bei der Restgasanalyse im Hochvakuum müssen kleinste Gasmengen nachgewiesen werden. Eine hohe Verstärkung der vom Quadrupol-Massenfilter gelieferten kleinen Ionenströme gewährleistet daher in den Restgasanalysatoren von Pfeiffer Vacuum ein Sekundärelektronenvervielfacher. Alle verwendeten Materialien sind sorgfältig für den Einsatz im UHV ausgewählt und bis zu hohen Temperaturen ausheizbar.

 
Mehrere Ionenquellen für verschiedene Anwendungsfälle stehen zur Verfügung, einschließlich einer Gitter-Ionenquelle mit besonders niedriger Ausgasrate.

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