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Restgasanalyse im Ultrahochvakuum - Pfeiffer Vacuum

Restgasanalyse im Ultrahochvakuum

PrismaPro® QMG 250 M1, 1 – 100 amu

Das modular aufgebaute Kompakt-Massenspektrometer kann optimal an Ihre Anwendung angepasst werden

PrismaPro® QMG 250 M2, 1 – 200 amu

Das modular aufgebaute Kompakt-Massenspektrometer kann optimal an Ihre Anwendung angepasst werden

PrismaPro® QMG 250 M3, 1 – 300 amu

Das modular aufgebaute Kompakt-Massenspektrometer kann optimal an Ihre Anwendung angepasst werden

PrismaPlus® QMG 220 M1, 1 – 100 amu

Das modular aufgebaute Kompakt-Massenspektrometer kann optimal an Ihre Anwendung angepasst werden
  • Massenbereich 1-100 amu für beste Auflösung und höchste Empfindlichkeit
  • Wirtschaftliche Restgasanalyse und Vakuumprozessüberwachung im Hoch- und Ultrahochvakuumbereich
  • Hohe Messgeschwindigkeit, Stabilität und Auflösungsvermögen
  • Austauschbarkeit von Analysatoren und Elektroniken
  • Beste Verfügbarkeit durch zwei Filamente

PrismaPlus® QMG 220 M2, 1-200 amu

Das modular aufgebaute Kompakt-Massenspektrometer kann optimal an Ihre Anwendung angepasst werden
  • Massenbereich 1-200 amu für Restgasanalyse und analytische Messaufgaben auch im höheren Massenbereich
  • Wirtschaftliche Restgasanalyse und Vakuumprozessüberwachung im Hoch- und Ultrahochvakuumbereich
  • Hohe Messgeschwindigkeit, Stabilität und Auflösungsvermögen
  • Austauschbarkeit von Analysatoren und Elektroniken
  • Beste Verfügbarkeit durch zwei Filamente

PrismaPlus® QMG 220 M3, 1 – 300 amu

Das modular aufgebaute Kompakt-Massenspektrometer kann optimal an Ihre Anwendung angepasst werden
  • Massenbereich 1 – 300 amu für Restgasanalyse und analytische Messaufgaben auch im höheren Massenbereich
  • Wirtschaftliche Restgasanalyse und Vakuumprozessüberwachung im Hoch- und Ultrahochvakuumbereich
  • Hohe Messgeschwindigkeit, Stabilität und Auflösungsvermögen
  • Austauschbarkeit von Analysatoren und Elektroniken
  • Beste Verfügbarkeit durch zwei Filamente

Quadrupol-Massenspektrometer mit Sekundärelektronenvervielfacher bieten höchste Nachweisempfindlichkeit bei der qualitativen Analyse der Gaszusammensetzung in einer Ultrahochvakuumkammer.

Bei der Restgasanalyse im Hochvakuum müssen kleinste Gasmengen nachgewiesen werden. Eine hohe Verstärkung der vom Quadrupol-Massenfilter gelieferten kleinen Ionenströme gewährleistet daher in den Restgasanalysatoren von Pfeiffer Vacuum ein Sekundärelektronenvervielfacher. Alle verwendeten Materialien sind sorgfältig für den Einsatz im UHV ausgewählt und bis zu hohen Temperaturen ausheizbar.

 
Mehrere Ionenquellen für verschiedene Anwendungsfälle stehen zur Verfügung, einschließlich einer Gitter-Ionenquelle mit besonders niedriger Ausgasrate.

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