Nicht verdampfbare Getterbeschichtung (NEG)

Nicht verdampfbare Getterbeschichtung (NEG)

 
Sputtern ist ein etabliertes Verfahren zur Beschichtung der Innenflächen von Vakuumkammern und komponenten mit einer dünnen Schicht von hochreaktivem Gettermaterial (Non-evaporable Getter; NEG), um sie mit einer unabhängigen Pumpleistung zu versehen. Die Technologie basiert auf bekannten NEG-Materialien aus Titan (Ti), Vanadium (V) und Zirconium (Zr) und erreicht auch bei langen, gebogenen Rohren eine homogene Oberflächenschicht mit hoher Haftfestigkeit. Der Pumpeffekt setzt bereits bei einer geringen Aktivierungstemperatur von ungefähr 180°C ein.
 

Die Gettertechnologie von Pfeiffer Vacuum
Gegenüber herkömmlichen Sputterbeschichtungsverfahren bietet Pfeiffer Vacuum eine alternative Produktionstechnik an. Mit unserer neuen Sputtertechnologie lassen sich komplexe Strukturen wie Kreuzstücke, T-Stücke und individuell konstruierte Kammern beschichten. Im Vergleich zu den bisher üblichen Verfahren wird eine höhere Haftfestigkeit dünner Schichten auf dem Substrat erzielt und der Beschichtungsprozess beschleunigt.
 

Hauptanwendungsgebiete
Dünnfilmbeschichtungen mit hochreaktivem Gettermaterial verleihen den Innenflächen von Vakuumkammern und komponenten chemische Pumpfähigkeit. Dabei bietet die Gettertechnologie viele Vorteile in Aufgabenbereichen, in denen Einzelpumpen wegen geometrischer oder prozessbezogener Einschränkungen nicht verwendet werden können.
 

Anwendungen

  • Strahlführungen von Beschleunigern
  • Analysegeräte
  • Mobile Transportkammern
  • Vibrationsempfindliche Versuche
  • Ultrahochvakuum

 

Vorteile

  • Maßgeschneiderte Lösungen einschließlich Fertigung von Rezipienten, hochreaktiver Getterbeschichtung und Qualitätssicherung
  • Hochreaktive Getterbeschichtungen mit niedriger Aktivierungstemperatur
  • Große Auswahl möglicher Bauteilgeometrien dank neuer Sputterquelle
  • Große Haftfestigkeit der Beschichtung auf dem Substrat

 

Um alle Anforderungen unserer Kunden zu erfüllen, bieten wir eine vollständige Produktions- und Qualitätssicherungskette an, die Folgendes umfasst:

  • Berechnung und Auslegung von Vakuumsystemen, einschließlich Finite-Elemente-Methode (FEM)
  • Herstellung hochpräziser Kammern
  • Modernste Schweißtechnologien, etwa Laserschweißen oder Wolfram-Inertgasschweißen
  • Reinheit für Anwendungen im Ultrahochvakuum
  • Sichtprüfung von Oberflächen
  • Helium-Lecksuche
  • Restgasanalyse (RGA)
  • Röntgen-Photoelektronenspektroskopie (XPS)
  • Rasterelektronenmikroskopie (SEM)

 

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