Gasregelventile
Neben der Funktion des Absperrens übernehmen speziell ausgelegte Ventile die Aufgabe der Gasdosierung in einem Vakuumprozess.
Produkt
- Großer Gasdurchsatz
- Sehr großer Regelbereich
- Mit integrierter Motoransteuerungselektronik
Regelbereiche von 0,0017 bis 85 hPa l/s
